2021年6月30日 (水)

マイクロマシンセンター委員会、MEMS協議会活動報告について

新型コロナウイルス感染症に関する情勢を踏まえ、今年度のMEMS協議会をはじめとするマイクロマシンセンターの各種委員会活動(図1)も、オンライン開催(以降OL開催と略します)、書面開催中心に運営しております。

マイクロマシンセンターの第1回運営委員会、第1回理事会、定時評議員会をそれぞれ6月2日(書面)、6月11日(書面)、6月23日(OL開催)に開催しました。

事業関連の委員会では、6月8日に、産業動向調査委員会をOL開催し、委員長である東京大学の竹内昌治教授から、2021年度は、マイクロマシンセンター創立30年にあたるため、本委員会でもそれに対応した調査を実施したいことなどが述べられました。続いて新委員の紹介、本年度活動方針説明の後、今年度のテーマである「過去のMEMSの歴史とこれから20年の技術展望」について、どの様に進めるかのディスカッションが行われました。

6月21日には、マイクロマシンセンターの調査研究事業委員会をOL開催し、厳選した活動を行うことなどが議論されました。
さらに翌22日は、標準化事業委員会をOL開催(一部対面開催)し、経済産業省委託事業である「薄膜圧電MEMSデバイスの寿命試験及び多方向折り曲げ信頼性試験方法に関する国際標準化」への取組みについて議論いたしました。
また、同日、これらのMEMS協議会委員会活動を統括する産業交流委員会を書面開催し、2020年度のMEMS協議会活動結果と2021年度の活動計画について、報告いたしました。

また、スマートセンシング&ネットワーク研究会(SSN研究会)で新たに発足したWG9のキックオフミーティングとして、環境調和型MEMS(EfriM : Environment friendly MEMS)技術の研究開発について、6月23日に開催いたしました。

さて、MEMS協議会推進委員会は、上述の委員会活動に加えて、当協議会の主力事業であるMNOIC事業と、現在実行中の先端技術開発プロジェクト推進について、2020年度成果と今年度の活動計画を議事内容に含め、6月29日にOL開催いたしました。
喫緊の国家的課題となっている半導体・デジタル産業戦略がMEMSに与える影響についてなど、事務局側が想定していた以上に多くの意見をいただくことが出来まして、大変有意義な会議となりました。

なお、ファンドリーサービス産業委員会は7月19日に開催します。
また国際交流委員会は国際交流活動が現状では見通せないことから、やむを得ず開催中止といたしました。

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図1 2021年度 委員会構成
(図をクリックで拡大)

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