MEMSの波(ブログニュース)

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• 2024年度海外調査報告会を盛況に開催
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• 第43回マイクロナノ先端技術交流会 「MEMSの新たなアプリケーションと新たなプロセス技術」 開催報告(2025年3月10日)

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マイクロマシンセンターでは、2018年の10大ニュースを選択いたしました。私どもの活動状況をご賢察いただければ幸いです。

1.インフラモニタリングプロジェクト(RIMS、UCoMS)、最終年度の開発実証試験成果が各種シンポジウム、展示会で注目
新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託事業「インフラ維持管理・更新等の社会課題対応システム開発プロジェクト」において、技術研究組合NMEMS技術研究機構(以下NMEMS組合)が提案した「道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発」及び社会・産業インフラ維持管理・更新等の重要な社会課題の一つである都市機能を支えるライフライン系の都市インフラ(電気、ガス、上下水道、情報、エネルギー)の安全な保全のためのセンサーモニタリングシステムの研究開発の最終年度の実施を行いました。
これらの成果は、国内外で開催された学会、シンポジウム、展示会等で広く発表を行い多くの関心を集めました。

2.スマートセンシング・インターフェース国際標準化案がIECで1年前倒しでNP提案が承認され審議入り
IEC(国際電気標準会議)/TC47(半導体分野技術委員会)/SC47F(MEMS分野分科委員会)にて、提案を行っておりました、「スマートセンサの制御方式」が、2018年、NP(New work item Proposal)承認され審議が開始されました。
IEC国際標準化SC47E/WG1,2F合同アドホック会議において「スマートセンサの制御方式」について、IECへのNP(New work item Proposal)投票が完了し、エキスパート参加国6か国でNP承認(参加国4か国以上が必要)された旨、また、韓国・米国からそれぞれ1件ずつあげられたコメントへの対応方針を各国に説明しました。

3.MNOICの工程受託活動がPR拡大等により引き続き右肩上がりで推移
研究開発を支えるMEMS試作ファンドリとして、7年前に開設したつくばの「マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)」も今や中小・ベンチャーを含む40社以上からの研究や工程の受託により、フル稼働の状況にあります。さらに設備整備や技術向上に努めて、我が国のMEMS開発需要に応えてまいります。

4. MMC理事長が山西氏から山中氏に交代、MMCの新体制が始動
2018年度はマイクロマシンセンター理事の改選期にあたり、MEMS理事会において2期4年にわたり当協議会会長(MMC理事長)を務めて頂いた山西健一郎三菱電機相談役から山中康司株式会社デンソー代表取締役副社長(MEMS協議会会長も兼ねる)に理事長が交代されました。
新理事長には、続いて開催したMEMS協議会推進委員会において挨拶及び最近のトピックスとして1つはスマートセンシング&ネットワーク研究会(SSN研究会)に、医療MEMS研究会などのワーキンググループを設置し、新テーマ発掘に努めていること、二つ目は、設立から8年目のMNOIC事業が、2020年以降も事業の持続的拡大に向け、現場中心に着実に改善活動を進めていることを述べられました。

5. MEMS講習会、マイクロナノ先端技術交流会、海外調査報告会等セミナーが多くの技術者を集め活況
マイクロマシンセンターでは、MEMS講習会、マイクナノ先端技術交流会、海外調査報告会を開催しており、多くの技術者の参加を頂き活発な意見交換が行われています。
MEMS講習会は年2回開催し、そのうち1回は地方で開催しています。2018年は2月に九州で開催し、地方でのMEMS技術の普及に貢献しています。
先端技術交流会は第2回医療MEMS研究会と兼ねて、「生体モニタリングの最前線」をテーマとして開催し、MEMS及び医療関係の技術者と意見交換が行われました。
海外調査報告会は、MEMS関連の海外調査及び国際標準化の最新状況について国際交流事業の一環として報告するものです。毎年のように北米や欧州を中心に学会等のイベント、海外の大学や研究施設、関連企業の訪問見学の報告を行っています。

6. MEMSセンシング&ネットワークシステム展2018、盛況でビジネスチャンスが拡大
2018年 10月 17日(水) から19日(金)まで幕張メッセで開催された「MEMS センシング&ネットワークシステム展 2018」は、3日間の開催期間を終え、盛況の内に閉幕しました。来場された皆様方に御礼申し上げます。

初日は、展示会場内特設ステージでMEMS協議会フォーラムを10:00から12:30まで開催いたしました。2日目は、国際会議室で研究開発プロジェクト成果報告会を開催いたしました。最終日は、国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム及びスマートセンシング&ネットワーク(SSN)研究会公開シンポジウムが10:00から16:05まで開催致しました。何れのシンポジウムも多くの聴衆が熱心に聞き入っておりました。
会期中の様子は以下を参照ください。
(初日)
http://www.nanomicro.biz/mems/2018/10/mems2018-be33.html
(2日目)
http://www.nanomicro.biz/mems/2018/10/mems2018-9487.html
(3日目)
http://www.nanomicro.biz/mems/2018/10/mems2018-fd87.html

今回ご来場頂きました皆様に御礼申し上げます。

次回は2020年1月29日(水)〜31日(金)に、東京ビッグサイトにおいて、nano tech2020と同時開催を予定しております。
次回もご来場頂けますよう関係者一同お待ちしております。

7. マイクロマシンサミット2018への参加や海外アフィリエート交流など、国際交流事業を活性化
マイクロマシンサミットは、年に1回、世界各国・地域の代表団が集まり、マイクロマシン/ナノテクノロジーに関する課題や展望につき意見交換する場です。日本の提案により平成7年3月に京都で開催されたのが始まりで、以後、各国持ち回りで開催されています。
2018年は5月14日(月)から16日(水)までアルゼンチンのブエノスアイレスで開催されました。南米での開催は、2014年にブラジル・サンパウロに続く2回目になります。今回のトピックスは、農業や畜産大国のアルゼンチンらしく"Agro-food & Environment. Other related applications and results from new and highly relevant R&D actions"でした。
次回、2019年のマイクロマシンサミットは、中国・西安(Xi’an)で開催されることが決まりました。コーディネータはNorthwestern Polytechnical UniversityのWeizheng Yuan教授です。

8. LbSSプロジェクトも中間(5年のうち3年)に差し掛かり、成果が現実化
本研究開発では、工場等の設備の稼働状況等の把握を目的とするスマートセンサモジュール、高効率MEH(Micro Energy Harvester)などの自立電源、及びスマートセンシングフロントエンド回路を開発し、動的センシング制御可能な無給電のスマートセンサ端末を実現します。さらに、同時に開発する学習型スマートコンセントレータとの連携により、従来の環境発電で収集可能な有価情報量を100倍化することを可能とする学習型スマートセンシングシステムの基盤開発と実証を行います。
現在、学習型スマートセンシングシステムの開発として、有価情報を高めるための自立型センサ端末/学習型センシングアルゴリズムの開発、測定パラメータ可変型スマートセンサ、製造往路セス革新で小型・安価、高効率発電デバイスの開発を行っています。

9. センサ端末同期用原子時計(ULPAC)が世界最高水準の長期安定度を達成
道路インフラモニタリングシステム(RIMS:ROAD Infrastructure Monitoring System)をはじめとするセンサ端末群は、ネットワークを介して時刻同期をすることで、データ取得の正確な時間を把握し、かつ、データ転送の効率化を図っています。もし、その時刻同期を不要とすることが出来れば、ネットワークの構築や運用にかかる負担を大幅に低減することができます。そこで、正確な時を刻む原子時計をセンサ端末に搭載可能なサイズや消費電力、価格にすることが出来るかを解析や試作を通して、長期間安定的に稼働する時計が完成しました。

10. 青柳副理事長、荒川センター長、野村総務担当部長などMMCの中興を担った方々が引退
2018年に開催したMEMS理事会において、2003年MMC専務理事に就任し、2006年の当協議会発足に尽力した前MMC副理事長の青柳桂一氏も退任しました。
また、マイクロマシンセンターを発展させてきた有力メンバーである荒川センター長及び野村総務担当部長が退職致しました。

2018年10月17日(水)から19日(金)まで、幕張メッセで開催した「MEMSセンシング&ネットワーク展2018」は、3日間の開催を終え盛況の内に閉幕しました。来場された皆様方には御礼申し上げます。

最終日は、マイクロマシンセンター主催特別シンポジウムを開催致しました。
以下は、シンポジウムでご講演頂いた講師の方々です。

【セッション1】
・開会挨拶

・スマート社会と空間情報

・人工知能技術運用によるスマート社会の実現(空間の移動分野)の目指す姿

・地理空間情報プラットフォームの構築と空間移動のスマート化

・空間移動におけるAI融合高精度物体認識システム

・社会レベルの行動モデリング・シミュレーションの研究開発

×ばつAIの研究開発

・AI活用により安全性向上を目指したスマートモビリティ技術の開発

・本テーマへの期待

【セッション2】
・開会挨拶

・ナノ機能を駆使した未踏微笑シグナルセンシング技術への挑戦

・グローバルIoT時代におけるセキュアかつ高度な生体医工学拠点のの形成に向けて

・東芝のスマートセンシング技術

今回ご来場頂きました皆様に御礼申し上げます。
また来年もご来場頂けますよう関係者一同お待ちしております。

少子高齢化、労働力不足、インフラ老朽化対策、災害課題対応と我が国の直面する課題に対し、人工知能・ロボットに対する期待は膨らみます。それらを実社会に実現するためにNEDO「次世代人工知能ロボット中核技術プロジェクト/AI融合高精度物体認識システム研究開発」の一環として、特に認識技術を中心として人工知能・ロボットに関し、一般公開で、2018年3月16日(金)13:00〜17:00、「次世代AIロボット先端動向ワークショップ」を東大本郷キャンパス伊藤国際学術研究センターギャラリー1で、開催しました。

我が国の最新の物体認識システムに関する研究、人工知能研究センターでの研究やロボット事情について、第一線の方々をお招きしたプログラムは、以下の通りです。

【プログラム】

本ワークショップは、MMCホームページでご案内を開始しましたが、わずか4日で〆切らざるを得ませんでした、会場が小さいため収容人数が制限されえており、当日欠席の方もあり若干の空席が見られましたが、AIやロボットの先端動向に対する関心度の高さがうかがえました。

先ず、NEDOロボットAI部の弓取部長より、AI融合高精度認識システムに対する期待と激励のご挨拶を頂き、その後、研究開発責任者下山東大教授より「AI融合高精度物体認識システム(AIRs)の概要」についてご講演頂いた後、産業技術総合研究所人工知能研究センターの活動、そのフェローの尾形早大教授らの知能ロボティクス研究、ニューラルディープラーニング等によるAI認識の先端研究について原田東大教授、東大IRT研究について高畑東大講師の講演に対し活発な質疑がなされました。



今後も、研究の進捗に伴い必要に応じてこのようなイベントを開催する予定ですのでご期待ください。
http://mirai.la.coocan.jp/airs/workshop/2017ws_airs.html

   盛況開催中の「MEMS センシング&ネットワークシステム展 2017」は本日、最終日3日目を迎えました。
   昨日2日目も初日同様、展示会場は、IoTに不可欠な技術分野ということで来場者からも関心が高く、例年にも増して多くの来場者にあふれた活気に満ちた会場風景となりました。

   本日は、国際マイクロマシン・ナノシンポジウムを開催いたします。

最終日もよろしくお願い致します。

  昨日開催した研究開発プロジェクト成果報告会では、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)や国から受託し、研究開発を進めているプロジェクトについて、各プロジェクトの責任者から報告がなされ、聴衆者が熱心に聞き入っていました。

   開催中の「MEMS センシング&ネットワークシステム展 2017」の1日目の様子をお知らせします。まず、展示会場ですが、IoTに不可欠な技術分野ということで来場者からも関心が高く、CEATECからの来場者も多く活気に満ちた会場風景となりました。

   本日は、研究開発プロジェクト成果報告会を開催します。プログラムは、以下のとおりです。本日もご来場をお待ちしております。

   昨日開催しましたMEMS協議会フォーラムには、多くの参加者があり盛況の内に終了しました。                   

開会挨拶 MMC青柳副理事長


MMC調査研究・標準部長 大中道崇浩


MNOIC開発センター長 荒川雅夫


会場風景


立命館大学理工学部 教授 小西 聡


MMC産業交流部長 今本浩史

このたび国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の「次世代人工知能・ロボット中核技術開発/次世代人工知能技術分野(先導研究)」において、国立大学法人東京大学、国立大学法人電気通信大学、国立研究開発法人産業技術総合技術研究所、オリンパス株式会社、株式会社デンソー及び一般財団法人マイクロマシンセンターの産官学連携チームが受託した「空間移動時のAI融合高精度物体認識システムの研究開発(AIRs)」がスタートし、それに伴い第1回研究推進委員会・キックオフ会議を10月3日(火)、東京大学工学部2号館3階31A 機械系会議室にて実施しました。本キックオフ会議には、経済産業省及びNEDOからのご来賓の臨席を賜り、プロジェクトに参画する各社/各機関の研究者及び事務局メンバ総勢30名が参加しました。

全体の研究開発管理や試作開発を受け持つマイクロマシンセンター長谷川専務理事からのご挨拶と併せてのご来賓紹介の後、ご来賓の方々のご挨拶を賜りました。

その後研究推進委員会の本題として、キックオフにあたっての研究開発の取り組み概要について以下の通り報告しました。

• 1)スタートに当たっての取り組み概要と方針:研究開発責任者下山先生(東京大学、図1下山先生報告)
  2)各研究開発の取り組みについて
  
  • 1革新センサ情報に基づいた次世代人工頭脳:高畑研究員(東京大学)
    2プラズモニックワイドバンドイメージャ:菅研究員(電気通信大学)
    3高精度分子慣性ジャイロ:高畑研究員(東京大学、高橋研究員代理)
    4プロジェクト推進:小池研究員(マイクロマシンセンター)
  
  

図1 下山先生報告

この後、特に本研究開発のポイントである人工知能に関して、本研究のAI研究開発責任者である原田先生(東京大学、図2原田先生報告)が、「多波長カメラを活用したAI認識」について報告しました。

図2 原田先生報告

最後に、これらの報告を踏まえてご来賓の方々のご講評を頂き、先導研究としての取り組みの成果の最大化と本格研究等繋げていくことへの期待やそれに向けての激励を頂きました。研究員全員で目標達成に向けプロジェクトを推進してくことを確認して、キックオフ会議を閉会しました。

またキックオフ会議のあと、意見交換会を開催して、研究者間で活発な意見交換がなされました。今後得られました成果については、適宜発表したいと存じますので、ご期待ください。

→空間移動時のAI融合高精度物体認識システムの研究開発(AIRs:AI-enabled Innovative Recognition System for spatial mobile Robots)
HP:http://mirai.la.coocan.jp/airs/index.html

(マイクロマシンセンター 小池智之)

本研究開発は、NEDO「次世代人工知能技術の社会実装を目指した先導研究」として採択(2017年8月9日)された15件の中の一つとなります。


本研究開発の提案は、国立大学法人東京大学、国立大学法人電気通信大学、国立研究開発法人産業技術総合研究所、オリンパス株式会社、株式会社デンソー及び一般財団法人マイクロマシンセンターが共同で行いました。

NEDO採択情報は、以下のサイトを参照下さい。
http://www.nedo.go.jp/news/press/AA5_100814.html

MEMS関連の技術・製品・アプリケーションを一堂に展示する「MEMSセンシング&ネットワークシステム展2017」の開催準備が進んでいます。

名称:MEMSセンシング&ネットワークシステム展2017
-IoTシステムの最先端技術展-
会期:2017年10月4日(水)〜6日(金)
会場:幕張メッセ 国際展示場ホール7、国際会議場会議室302
同時開催:InterOpto/LaserTech/BioOpto Japan/LEDJAPAN/
CEATEC JAPAN 2017
URL:http://www.mems-sensing-network.com/

開催内容を順次ご紹介しますが、今回は「研究開発プロジェクト成果報告会」のプログラムをお伝えします。

名称:研究開発プロジェクト成果報告会
開催日時:2017年10月5日(木)10:30-16:10(昼休み1時間を含む)
趣旨:工場の操業状況や道路インフラ構造の健全性などを確認するために、センサをいたるところに配置し、無線ネットワークで測定データを集めるIoT(Internet of Things)が注目されています。本セミナーでは、NEDOや国から受託し、研究開発を進めているプロジェクトについて報告します。

成果については展示会場ブースにおいても展示・説明を行っておりますので、是非お立ち寄りください。
                   <成果普及部 水島 豊>

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