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平成21年10月28日(水)午後に、マイクロ・ナノ技術の普及啓発と産学の技術交流を図ることを目的とした第19回マイクロナノ先端技術交流会を開催しました。
第19回は、北九州市立大学国際環境工学部環境生命工学科講師の礒田隆聡先生と豊橋技術科学大学生産システム工学系教授の柴田隆行先生を講師としてお招きし、ご講演をいただきました。
1.北九州市立大学 礒田先生
【講演題目】
「バイオセンサのチップ化とモバイルセンサネットワーク技術による新しい予防医学の可能性」
【講演内容】
本講演では、抗体免疫反応を検出するためのバイオセンサの集積化と、センサネットワークによる新しい予防医学の可能性について紹介。
2.豊橋技術科学大学 柴田先生
【講演題目】
「マスクレス微細加工技術と細胞操作用MEMS」
【講演内容】
フォトリソグラフィの手法を用いずに,マイクロ・ナノ構造を創成するための新規な微細加工技術ならびに将来の医療・医薬分野の発展に不可欠な細胞機能解明のための種々の細胞操作用MEMSデバイスについて紹介。

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それぞれの先生の講演内容について、参加者から技術の詳細やビジネスへの展開などの活発な質疑応答がなされました。また、講演後、講師の先生を囲む懇親会も和やかに行なわれました。

次回のマイクロナノ先端技術 交流会は、平成22年1月に予定しており、12月に入りましてから開催のご案内をいたしますので、皆様のご参加をお待ちしています。

MEMS協議会(MIF)の海外アフィリエートであり、国際的に声望の高いフランスのCEA-LETIと、第2回ジョイントワークショップ on MEMSと題して、10月27日、産総研つくば東事業所にて、共同のワークショップを開催しました。

CEA-LETIとは昨年、MIFとお互いに海外アフィリエート関係を結ぶことに合意しました。この関係を実質的で実りあるものにするために、今年6月に第1回共同ワークショップをフランス・グルノーブルのLETIにて開催し、さらに、今回、MIFとして実現を推進しているつくばナノテク拠点N-MEMSとの交流も含めて、第2回を開催することとなりました。つくばナノテク拠点N-MEMSが革新を続けるには、国際的でオープンな協業は重要な方針です。その一環として、発展著しいLETIとのコラボレーションの可能性を探ることが本ワークショップの目的でした。

ワークショップのプラグラムとしては4つのセッションに分けて議論しました。最初に、今後の少子高齢化に対応して有望な応用分野として期待されるサービスロボットに関連するMEMS、センサー、次が製造プロセスの側面からウエハーレベルパッケージ・3D集積化、3番目が環境やエネルギーに関連したセンサーネットワーク、最後がBEANS-PJから産総研に拠点を置くMacro-BEANS、大面積製造プロセスです。

LETIからは、CEOであるLaurent Malier氏を始め、5名の研究者が参加し、日本側からは、東大の下山教授、東北大学の江刺教授、産総研の前田上席研究員、BEANS研究所の武田副所長を始めとする多くの関係者が参加しました。

講演ごとの質疑応答、セッションごとの議論を通じて、双方に共通する興味、研究活動、それからLETIから見て現状は対応する研究はないが、今後、検討したいテーマなどが明らかになりました。今後、両サイドで検討する中でコラボレーションの可能性を探ることとしました。

このような国際的な協業を探る試みを継続する中で、知恵と経験を集めて大きな成果と応用分野を開拓する方法論が確立していくものと期待しています。(MEMS協議会事務局 片白)

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東京での「MemsONE技術交流会」は今回で2回目となります。昨年度は「MemsONEユーザ会」と呼んでおりましたが、今年度からはMemsONEユーザのみならず、MemsONEおよびMEMSに興味を持つ技術者や研究者に間口を広げ、MemsONEを広く紹介する狙いから「MemsONE技術交流会」に改名致しました。本技術交流会では、参加者間およびMemsONEサポートセンターと参加者間における情報交換を目的としており、MEMSや解析に係わる講演や解析事例およびMemsONEのバージョンアップ情報やデモなどを中心に紹介します。

第2回MemsONE技術交流会は次の要領で開催し、参加は自由で無料ですので、是非ご参加ください。尚、参加は事前登録制ですので、下記よりお願いします。

詳細&お申込み

<< 開催概要 >>

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[画像:Photo] MEMSの国際標準化はIECのTC47(半導体デバイス専門委員会)の中のSC47F(MEMS分科委員会)で審議されていますが、今回、10月18日から22日までイスラエルのテルアビブで開催のIEC総会に招待される形でTC47関係の各委員会、WG会議が開催されました。オープニングセレモニーには、約1,000人の参加者があり、IEC会長挨[画像:Photo_2]拶他、音と映像と光及び歌とダンスのアトラクションがありました。

SC47Fの国別出席者は、日本(10)、韓国(12)、中国(1)、ドイツ(1)、アメリカ(1)、ブラジル(1)の26名でした。今回のメインの議題は、10/9に投票が締め切られ、承認された以下の三つのNP(新規業務項目提案)に対する各国コメントの審議でした。審議の結果、各国コメントはほとんど受けいられることで合意が得られ、審議結果に基づいたCD(委員会原案)を作成することになりました。
1接着強度試験法(日本提案)
2マイクロピラー圧縮試験法(韓国提案)
3熱膨張係数試験法(韓国提案)[画像:Photo_3]

又、以下の今後提案予定のNPの紹介がありました。
(韓国から)
(1) Forming limit measuring method of metallic film materials
(2) Test methods for bond strength in PDMS/Glass chip
(3) Test methods for residual stress measurement
(日本から)
(1) Bending test method and standard test sample for thin film materials

(調査研究・標準部@ マイクロマシンセンター)

国内外技術動向調査委員会の上期調査としてTransducers2009(The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems)の調査を実施しました。Transducersはマイクロセンサ、マイクロアクチュエータに関する最先端の研究開発事例が発表される国際会議で、1981年にボストン(米)で第1回が開催されて以来隔年に開催されています。今回のTransducers2009は15回目の開催にあたり、デンバー(米)にて6月21〜25日に開催されました。Photo_12

今回の参加者は28カ国 984名(事前登録)でした。論文投稿数は1,307件でした。発表は一般口頭発表216件、ポスター発表384件で、採択率は45.9%でした。投稿件数と採択件数の推移を右図(クリックで拡大)に示します。

次に国別発表件数について右図(クリックで拡大)Photo_13 に示します。米国が前回の56件から94件と1.7倍に激増し1位、日本は2位ですが、43件と米国の半分以下でした。3位には伸張著しい台湾が入りました。次いでドイツ、スイス、中国、オランダ、韓国と続きました。

Photo_14 また、小分類項目別の発表件数を右図(クリックで拡大)に示します。基礎分野ではActuatorsが一番多く、Packaging Technologiesが昨年から大幅に増えました。応用分野では、Mechanical Sensor が昨年より大幅に件数を増やしトップでした。Fluidic 、Biomedical Systems が次に続きました。Chemical/Bio Sensor は昨年より半減しました。

下期は、MEMS2010を調査する予定です。(調査研究・標準部@ マイクロマシンセンター)

広報誌「マイクロナノ」2009年10月号(No.69)をマイクロマシンセンターの広報誌ページに掲載しました。

下記より直接アクセスすることもできます。是非ご覧ください。
→ http://mmc.la.coocan.jp/info/magazine/69j/micro69.htm

================ ≪目次≫ ================

・マイクロナノ2009開催報告

【財団法人マイクロマシンセンター事業の動き】
・調査研究・標準化事業の動き
・MEMS協議会(MEMS Industry Forum)の動き
・MEMSシステム開発センターの動き
・普及広報等事業の動き

【技術研究組合BEANS研究所事業の動き】
・「BEANSプロジェクト」成果・トピックス
・BEANSプロジェクトのセンター紹介(前篇)

・賛助会員・組合員等の活動紹介:株式会社進映社

(普及促進部@マイクロマシンセンター)

来年度開催する総合イベント マイクロナノ2010の基本計画を策定いたしました。

9月10日、主催者であるマイクロマシンセンターおよびオーガナイザーのメサゴメッセフランクフルトとでミーティングを行い、マイクロナノ2010の基本コンセプト、目標等について合意をしました。今後、この基本計画に沿って具体的な検討を進めることになります。

マイクロナノ2009は、景気の影響を強く受けて、ここ数年で初めて出展社数および来場者数の減少を経験しました。来年度は、不透明な先行きではありますが、何とか挽回して、元の成長基調に戻したいと考えています。基本計画の概要としては以下のことを考えております。

1開催日時・場所:2010年7月28-30日 10:00-17:00 東京ビッグサイト

2コンセプト:名実ともに世界最大のMEMS/マイクロテクノロジーの国際展示会へ

3目標値:出展社数を指標とし、2008年並みに戻す。

4目標値達成の手段:新規にMEMSセンサーやアクチュエータなどを中心とするロボットの製造技術に焦点を当てた「ROBOTECH」を同時開催(加えて、表面技術に関する「SURTECH」も併催)また、ナノインプリントや海外アフィリエートとのワークショップなど、同時開催のセミナーを充実させる、等。

事前プロモーション活動や展示会におけるコンシェルジュの充実なども合わせて、出展社、来場者にとって最も価値のある技術情報、ビジネス情報、ビジネス機会をワンストップで提供できるように企画を進めて参ります。ぜひご期待いただき、ご出展、ご来場の検討をお願い致します。(MEMS協議会事務局 片白)

Seminar_4 マイクロマシンセンター・ファンドリーサービス産業委員会(委員長:オムロン(株)佐藤文彦氏)主催の第13回MEMS講習会「ロボットを身近にするセンサ・MEMS技術」を、10月9日(金)に、東京・市ヶ谷のアルカディア市ヶ谷で開催しました。
会場風景(司会:佐藤委員長)
今回は、MEMS技術の新しい応用分野として期待が高まっているロボットに焦点を絞り、センサを始めとするMEMS技術に関して、以下のプログラムにて講演会を行いました。

・御挨拶 マイクロマシンセンター 青柳専務 Photo
・「MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待」
立命館大学、杉山教授 Photo
・「ロボットのコア技術としてのMEMS」
東京大学、下山教授 Photo
・「レーザレンジファインダを利用した実世界計測の原理と応用
〜文化遺産アーカイブ、ITSを例に〜」
東京大学、小野特任助教 Photo
・「家庭用サービスロボットと触覚センサ技術」
パナソニック(株)、水野主任技師 Photo
・「ムラタセイサク君、セイコちゃんへのMEMSセンサの応用」
(株)村田製作所、辻主任 Photo
・「オムロンのMEMSセンサ技術」
オムロン(株)、佐々木技術専門職 Photo
・「MEMS回路シミュレータMEMSpiceによる振動型デバイスの解析」
(株)数理システム、水田常務取締役 Photo
・「MEMS等価回路ジェネレータ」
静岡大学、橋口教授 Photo
・「ファンドリーサービス産業委員会活動紹介」
佐藤委員長(オムロン(株))

「Photo」を押すと、講演の様子がご覧いただけます。
(本記事に戻るには、写真画面左上の←を押してください)

冒頭、青柳専務御挨拶に続いて、基調講演として杉山先生からMEMS応用システム・デバイスの最新動向についてお話しいただきました。そのあと、下山先生からテーマ講演「ロボットのコア技術としてのMEMS」があり、サービスロボットは近い将来「あれば嬉しいもの」から「ないと困るもの」になり、MEMSセンサ・アクチュエータがコアデバイス・技術になるという動向予測と研究開発状況についてご説明いただきました。
テーマ講演のあと、ロボット制御に欠かせない視覚・触覚・角速度・人と環境などを計測するセンサ技術に関して、4件ご紹介いただき、学術講演会ではなかなか聞けない開発秘話もご披露いただきました。さらにセンサ設計に必須のMEMS/LSI統合解析技術を2件、途中の休憩時間を利用したファンドリーサービス産業委員会の全委員による技術相談会をはさんで、最後に委員長による同委員会の活動紹介で講演会を締めくくりました。
産業界を取り巻く厳しい経済環境を吹き飛ばすかのように、会場は聴講に来られた参加者の皆さまで満席になり、盛況の講演会となりました。また、講習会の終了後、別会場でファンドリーサービス産業委員会委員、講師の方々と参加者の皆さまとの懇談会を開催しました。和やかな雰囲気の中にも熱い議論が繰り広げられ、大いに交流が図られました。本講演会を盛り上げていただいたご関係各位に厚く御礼申し上げます。

会場風景サムネイル集(画面を押すと大きくなります)
Consulting1_4 Consulting2_2 Banquet1_2 Banquet2_2
技術相談会風景 懇親会風景

原田@普及促進部

(財)マイクロマシンセンター/MEMS協議会(MIF)の海外アフィリエートとして良好な関係を台湾工業技術研究院(ITRI)と結ぶべく、2009年10月7日、台湾新竹にある同研究所を訪問し、ミーティングを行いました。(片白)

Itri091007_3

現在、MIFとしては18の国際的な研究機関と海外アフィリエート関係を結んでいます。EU域内、米国、アジアを網羅するようになりましたが、先進的で常に注目すべきITRIとは公式な関係ができていませんでした。JMEC構想の実現を推進する上で、Open Innovationは重要な方針であり、国際的な交流を含む多様な共同研究が革新を生むはずです。台湾、さらにはアジアを代表する研究機関であるITRIとはぜひとも良好な関係を構築しておきたいと考えていました。

ITRIからはMEMSの中心である、Microsystems Technology Center(MSTC)のトップであるT.C.Ho氏を始め6人が参加し、当方からは青柳MMC専務理事、産総研の高木氏、MIFメンバー企業の住友精密から竹迫氏、そして片白(MMC)が参加しました。ITRIから研究所の概要と関連テーマの紹介を受け、当方からはMIFの活動紹介およびコラボレーションの可能性について考えを述べました。相互の理解を深め、議論をした後、双方、海外アフィリエート関係を結ぶことに基本合意しました。当初の目的に沿って海外アフィリエート関係をスタートすることができました。今後、双方にとってメリットのあるコラボレーションのあり方を具体的に検討していくことになります。

MEMS講習会について、あらためてご案内いたします。プログラムの題目から関連するホームページや概要説明にジャンプするリンクを貼りましたので、一度ご覧ください。

また、本ご案内は(財)マイクロマシンセンターのホームページでも公開しております。そちらのWhat's newから専用ページに入って、お申込みいただくこともできます。

◇◇◇◇◇◇ 開 催 案 内 ◇◇◇◇◇◇

(財)マイクロマシンセンター・ファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、現在まで12回のMEMS講習会を開催してきました。今回、第13回MEMS講習会「ロボットを身近にするセンサ・MEMS技術」を開催いたします。

マイクロマシン/MEMS技術の応用分野としてロボットが注目されています。なかでも、介護・案内・娯楽サービス用ロボットは、今後ニーズが急速に伸びていくものと予想されます。基調講演として、MEMS及びロボット研究の第一人者である、立命館大学杉山先生、並びに、東京大学下山先生をお招きしてMEMS、ロボット開発の現状とMEMSへの期待についてお話しいただき、そのあとに、ロボット、センサ開発事例とMEMSファンドリー活動をご紹介いたします。また、休憩時間には、メンバー各社による技術相談会で、MEMS製作に関する御質問にお答えいたします。

本会をロボット開発者、センサメーカー、ファンドリーメーカー、さらにはMEMS技術者相互の交流の場にしたいと考えております。皆様の積極的なご参加をお願い致します。

◇◇◇◇◇◇ 開 催 概 要 ◇◇◇◇◇◇

◇テーマ:「ロボットを身近にするセンサ・MEMS技術」

◇日 時:2009年10月9日(金)13:00〜18:20〜19:30
◇場 所:アルカディア市ヶ谷(東京・私学会館) 6階会議室(霧島)
〒102-0073 東京都千代田区九段北4丁目2番25号
TEL:03-3261-9921(代表)
アクセスマップへのリンク
◇参加費:一般 10,000円 /MEMS協議会メンバー 8,000円
◇定 員:50名(定員になり次第、締切らせていただきます。)
◇問合せ先:〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67
MBR99ビル 6階
財団法人マイクロマシンセンター
ファンドリーサービス産業委員会
講習会担当(原田、酒向)
TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873

◇◇◇◇◇◇ プ ロ グ ラ ム ◇◇◇◇◇◇

講演題目をクリックすると関連ホームページにジャンプします。
また、(概要)をクリックすると概要説明がご覧になれます。

13:00 主催者挨拶
青柳 桂一 (財団法人マイクロマシンセンター)
13:05 MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待 (概要)
杉山 進 (立命館大学 教授)
13:50 ロボットのコア技術としてのMEMS (概要)
下山 勲 (東京大学 情報理工学系研究科長 教授)
14:20 レーザレンジファインダを利用した実世界計測の原理と応用
(追加) 〜文化遺産アーカイブ,ITSを例に〜 (概要 )
小野 晋太郎(東京大学 生産技術研究所 特任助教)
14:50 家庭用サービスロボットと触覚センサ技術 (概要)
水野 修 (パナソニック株式会社)

15:20 ― 休憩及び技術相談会 (概要) ―

16:00 ムラタセイサク君、セイコちゃんへのMEMSセンサの応用
辻 滋 (株式会社村田製作所) (概要)
16:30 オムロンのMEMSセンサ技術 (概要)
佐々木 昌 (オムロン株式会社 コアテクノロジーセンター)
17:00 MEMS回路シミュレータMEMSpiceによる振動型デバイスの
解析 (概要)
水田 千益 (株式会社数理システム)
17:30 MEMS等価回路ジェネレータ (概要)
橋口 原 (静岡大学 教授)
18:00 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介 (概要)
佐藤 文彦 (ファンドリーサービス産業委員会 委員長/
オムロン株式会社 マイクロデバイス事業部)

18:30〜19:30 懇談会

◇◇◇◇◇◇ 参 加 申 込 方 法 ◇◇◇◇◇◇

下記申込欄をコピーして頂き、メール本文中に貼り付け、必要事項をご入力のうえ、ご送信下さい。あるいは、下記申込欄を印刷して頂き、必要事項をご記入の上、FAXしていただいても結構です。(受付後、登録通知メールを送付致します。)

Mail: mems-ws@mmc.or.jp
FAX: 03-5835-1873
(財)マイクロマシンセンター
ファンドリーサービス産業委員会 講習会担当 (原田、酒向)

★ お申込みは下記の申込欄のみをご送信下さい。 ★

*----*----*----*----*----*----*----*----*----*----*
参加申込欄

第13回MEMS講習会「ロボットを身近にするセンサ・MEMS技術」
<2009年10月9日(金)>

申込者氏名:
氏名フリガナ:
会社・団体名:
所属部署:
役職:
勤務先〒番号:
勤務先住所:
TEL:
Mail:
参加費: どちらか一方を残してください
1一般 (10,000円)
2MEMS協議会メンバー (8,000円)

*----*----*----*----*----*----*----*----*----*----*

(普及促進部@マイクロマシンセンター)

マイクロマシンセンターではMEMSに関する標準化を進めていますが、今年度、経済産業省より受託(神戸大学と共同)して新たな研究開発を開始しました。MEMSの形状計測法に関する標準化です。

MEMSに限らず物を作るには設計者と製作者の意思疎通が重要です。MEMSの場合、長時間のウェットエッチングや深堀ドライエッチングにより製作する3次元の構造物ですので、その形状(高さ、深さ、幅、テーパー角度、表面粗さ等)の表示・指定が必要ですがその標準はありません。マイクロスケール寸法であるがゆえに、MEMS構造に適した幾何形状の計測法や表示法が確立されていないのです。

現在予定している実施手順は、まずマイクロスケールの基準試験片を作り、これを各種測定法で計測します。測定法は様々な方法がありますが、操作性や精度等から評価します。この結果の比較より、MEMSに適した形状の表示法と、構造やスケールに適した計測法を選定します。

本事業は21年度より3年間の研究開発を行い、IEC国際標準の提案を予定しています。本事業の成果は、MEMS製作に携わる関係者、発注者(設計者)と製造者の意思疎通向上等に活用され、デバイス開発期間の短縮や歩留まり向上に寄与すると期待されています。

(財)マイクロマシンセンターでは、マイクロナノ・MEMS分野でホットな話題となっている先端技術を紹介するとともに、産学の技術交流を図ることを目的とした「マイクロナノ先端技術交流会」を年3回のペースで実施しています。
第19回のマイクロナノ先端技術交流会は、北九州市立大学国際環境工学部環境生命工学科の礒田隆聡先生、豊橋技術科学大学生産システム工学系の柴田隆行先生をお招きし、下記のとおり開催します。
現在、マイクロマシンセンターのホームページで参加申込みを受け付けています。
皆様のご参加をお待ちしています。

■しかく第19回マイクロナノ先端技術交流会 プログラム
◇開催日時:平成21年10月28日(水) 13:30〜18:30
◇会場:マイクロマシンセンター「MMCテクノサロン」
◇プログラム:
13:30〜13:35
主催者挨拶(MMC 青柳専務理事)
13:35〜15:05
講演1「バイオセンサのチップ化とモバイルセンサネットワーク技術による新しい予防医 学の可能性」
北九州市立大学国際環境工学部環境生命工学科 講師 礒田隆聡 先生
講演概要:近年、医療現場では治療技術から予防医学への転換期を迎えています。これを実現するためには、新しい生体計測方法が求められています。本講演では、抗体免疫反応を検出するためのバイオセンサの集積化と、センサネットワークによる新しい予防医学の可能性について紹介します。
15:05〜15:15
休憩
15:15〜16:45
講演2「マスクレス微細加工技術と細胞操作用MEMS」
豊橋技術科学大学 生産システム工学系教授 柴田隆行 先生
講演概要: フォトリソグラフィの手法を用いずに,マイクロ・ナノ構造を創成するための新規な微細加工技術ならびに将来の医療・医薬分野の発展に不可欠な細胞機能解明のための種々の細胞操作用MEMSデバイスについて紹介します。
16:45〜17:00
休憩・交流会会場に移動
17:00〜18:30
技術相談及び講師の先生を囲む交流会(立食形式)
(会場:MMC本部会議室)
◇参加費:一般 6,000円 /MEMS協議会メンバー 2,000円
◇定 員:30名(定員になり次第、締切らせていただきます。)
◇問合せ先:〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6階
財団法人マイクロマシンセンター
マイクロナノ先端技術交流会担当(阿出川、酒向)
TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873

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