第2回MEMS設計解析基礎実習の開催: MEMSの波(ブログニュース)

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2011年11月22日 (火)

第2回MEMS設計解析基礎実習の開催

MEMS設計解析基礎実習の第2回を11月17日〜18日(2日間)に開催致しました。本実習は、人材育成事業「マイクロナノイノベータ人材育成プログラム」の一環で実施するもので、本プログラムの基礎レベル科目に属するものです。
本実習は、MemsONEを活用し、MEMS設計・製作における構造やプロセスを評価(特性・現象予測など)する基礎的な知識習得を狙いとして、実際にパソコンを使用した実習中心の講習会で、年2回開催しています。今回は定員である5名の申込みがありましたが、当日1名の欠席があり、4名で実施しました。内容や時間配分等については、昨年度の結果を踏まえて見直しを行っています。受講者からは大変役立ったとの評価を得ており、来年度も引き続いて開催を予定しています。以下に、今回の開催概要を示します。

◆だいやまーく開催日時: 平成23年11月17日(木)-18日(金)10:00〜17:00
◆だいやまーく開催場所: MMCテクノサロン
◆だいやまーく受講者数: 4名(欠席1名あり)
◆だいやまーく実習内容: <<一日目>>
1)MemsONEのメイン操作・CAD操作の基本
2)MemsONEの解析条件設定〜解析結果表示までの操作演習
3)プロセスエミュレータによるモデル作成の演習
4)変形解析の演習
<<二日目>>
1)プロセス解析:ウェットエッチング解析の演習
2)サンプルモデルによる各種解析の演習
3)演習:メッシュや要素次数の相違による解析精度の検証