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「マイクロナノ2011」国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム開催(2011年7月13日)
MMC 三原 孝士

世界最大規模のマイクロマシン/MEMSの総合イベントである、「マイクロナノ2011」(東京ビッグサイト)の中でも、17回と言う歴史を持つ「国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム」は、(同時通訳もついて)世界のマイクロマシン/MEMSの産業、技術動向を気軽に得ることが出来る場となっています。今回は、東日本大震災の影響で海外からの講演者への依頼が難航、一般財団法人・マイクロマシンセンターとのアフィリエート関係にある海外の研究所や、コーディネートを手掛ける法人を含む海外からの出展者が大幅に減る、等の影響を受けて海外からの講演者を集めるのに大変苦労をしました。一方、TIA(つくばイノベーションアリーナ)の研究拠点活動の中で、MEMSセンサーネットワークが節電に大きな効果が得られることが判ったことも大きな驚きです。このような背景から、国際交流委員会の委員長である、東大・下山教授チェアマンを中心に「大災害復興・節電に必須なMEMSグリーンイノベーション」と題したテーマでプログラムを作成しました。
作田理事長の主催者挨拶に続いて、経産省・藤木産業機械課長のからご来賓のご挨拶のあと、以下の3つのセッションを行いました。
セッション1:「大災害復興・節電に必須なMEMSグリーンイノベーション」
UCバークレーのPisano先生から、「地熱発電とそれに必要な耐環境MEMSセンサーシステム」:米国のエネルギー源の鳥瞰図と、地熱発電への期待、SiC等を用いたMEMSセンサー、更に耐環境集積化MEMSの最先端の研究報告
セッション2:「MEMSの未来応用」萎縮しがちな産業界ですが、MEMS領域において少しでも未来を照らしたいとの思いから、MEMSの新しい技術および応用や、市場動向を企画しました。
1) 未来を開く電磁メタマテリアル(大阪大学・萩行先生):マイクロ・ナノ加工によって誘電率や透磁率を制御する全く新しい材料(メタマテリアル)を基礎・理論から応用まで判りやすく解説、
2) スマート電話向けのスマートセンサー(Guilaume氏、MOVEA社 フランス)LETI発ベンチャーのセンサー開発とその事業、
3) 集積化MEMSの市場動向(南川氏、HISアイサプライ 米国)拡大を始めたMEMS産業と今後の期待、
セッション3:「世界の研究所からの報告」マイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)の設立を記念して海外の研究所からの最新情報を報告して貰いました。
1) CMOS-MEMSの可能性(Lee所長、NNFC 韓国):韓国のIMECと呼ばれるNNFCの紹介とCMOSやナノエレとMEMSの接点、
2) バイオ・健康・医療応用MEMS(Rouzaud副所長、LETI フランス):カンチレバーを使った化学センサー
3) MEMSセンサーネットワークによる節電事例(前田センター長、UMEMSME 日本): クリーンルームのセンサーネットワークによる環境可視化、

個人的なことで恐縮ですが、私はマイクロマシンセンターに出向する3月までは企業の研究者としてUMEMSME/信大繊維学部との共同研究を行い、MEMSマイクロカンチレバーを用いた化学センサーを研究していました。この種の研究は日本では数少ないのですが、(特別に依頼したわけではありませんが)LETIのRouzaud副所長が完成度の高いマイクロカラムを含む、マイクロカンチレバーを用いた化学センサーのご紹介をされていたのに、深い感銘を受けました。
この国際シンポジウムの参加者数は192名でした。多くの方々にご参加頂いたことに感謝致します。来年に向けて更に充実した企画をして行きたいと思いますので、ご気軽にご意見を頂ければと思います。

写真 1 UCバークレイ Pisano先生
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写真 2 Guilaume氏、MOVEA社
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このたび、「Gデバイス@BEANSの活動の軌跡(アーカイブ)」のHPサイトを立ち上げました。Gデバイス@BEANSの研究開発事業は、2009年度末から2010年度の1年余の短期間でしたが、国/NEDOプロのBEANSプロジェクト事業の一環として、高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセス開発が進められたもので、本年3月に事業が終了しました。





本事業によって開発導入された最先端8インチMEMS製造ラインは、現在産総研(東)に移管され、TIA-NMEMS拠点のR&Dプラットフォームの中の主力設備として活躍が期待されています。企業ユーザーはMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)を通じて、近々これらの設備を利活用できるようになります。


また、本事業による研究開発成果の多くの部分は、このたびNMEMS技術研究機構がNEDOとの共同研究方式によって開発に着手することになったグリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト(2011年〜2014年) に継承され、本格的な研究が進むことになります。


このように、早くも事業開発終了時点において今後の展望が具体化しているという意味で、特筆されるべき素晴らしい事業だったと言えます。この事業の歩みを「Gデバイス@BEANSの活動の軌跡(アーカイブ)」のHPサイトで振り返っていただければ幸いです。

マイクロナノ2011開催(2011年7月13-15日)
MMC 三原 孝士

既に何件かの速報が出されていますが、先週の水曜から金曜まで東京ビッグサイトにおいて、総合イベントマイクロナノ2011が開催されました。今年で22回を数えるマイクロマシン/MEMS展に、昨年からROBOTECH、SURTECHが加わり、更に併設のシンポジウムを加えて総合イベントマイクロナノ2011と呼んでいます。このイベントは展示会に加えて、7つの220名を収容可能なシンポジウムと、出展社プレゼンテーション、ワークショップと常時3個の講演会を、しかも無料で提供出来ている濃密なイベントになっています。特に今回は、何時も人気が高い国際シンポジウムを始め、TIA(つくばイノベーションアリーナ)のシンポジウムとしてのMEMS協議会フォーラム、MNOIC設立シンポジウムと言う3本の大きなシンポジウムを、MEMS協議会にて企画運営を行いました。東日本大震災の影響で海外からの講演者の依頼が難航、海外からの出展者が大幅に減る等の影響を受けましたが、これらのシンポジウムは常時150人から200人の参加者を集め、大変盛況でした。特に今年度の国際シンポジウムのテーマは「大災害復興、節電に必須のMEMSグリーンイノベーション」としてUCバークレーのPisano先生から、「地熱発電とそれに必要な耐環境MEMSセンサーシステム」を筆頭に、MEMSセンサーネットワークによるクリーンルームの節電事例、MEMSの新しい応用として電磁メタマテーリアル、スマートフォン用MEMS、集積化MEMS市場予測、韓国から集積化CMOS-MEMS、フランスLETIからMEMSカンチレバーを使った化学センサー事例、等の新しい応用事例の発表と「MEMSの再発見と新規な展望」を見せたイベントでした。最終的な来場者数は、昨年比約8%減の1万3千人弱でした。震災と節電によって製造業全体が委縮傾向になり、更に海外からの来場者が大幅減となりましたが、多くの方々にご来場頂いたことに感謝致します。同時に来年に向けて更に充実した企画をして行きたいと思います。
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図1 国際シンポジウムにおけるPisano先生のご講演
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図2 マイクロマシンセンター MNOICのブース
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図3 マイクロナノ2011全体

MNOIC人材育成セミナー開催 2011年7月6日
MMC 三原 孝士
ご存知のようにマイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)は一般財団法人・マイクロマシンセンターMEMS協議会が運営するもので、TIA(つくばイノベーションアリーナ)研究拠点の一翼を担う集積マイクロシステム研究センターのMEMS研究拠点を利活用するために設立された組織であり、2011年4月1日に設立され7月下旬からの運用を目指しています。このMNOICの活動は"「マイラボ」と言う研究施設の利用"、"「マイファブ」と言う研究装置の時間貸し"が主な活動ですが、人材育成も重要であると考えています。このような状況の中で、2011年7月6日の午後、産業技術総合研究所つくば東事業所においてMNOIC人材育成セミナー(UMEMSME-MNOIC研究会)を開催しました。当日の講演は
1)MNOIC特別講義「MOTの役割」 千葉工業大学 佐野利男教授
2)UMEMSME特別講演「ナノメカニクスの研究とそのセンシング応用」東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻 石原 直教授
と言う内容でした。MEMSの最先端センシング技術から、実用化の為の技法、MOTの効果と意義まで、幅広いテーマのセミナーでした。聴講者はUMEMSMEの研究者を中心に約60名と盛大でした。またその後の交流会でも多くの研究者による相互の情報交換が行われました。このようにつくば地区・MEMS開発センターでのMNOIC人材育成セミナーは、UMEMSME-MNOIC研究会として開催されるので常時60人以上の研究員が参加し、相互に交流を行う日本で最大規模のMEMS研究&交流の場になっています。このようなセミナーや交流の場がイノベーションの核になります。皆様にも積極的にMNOICを活用して頂けますように切望致します。

MEMS協議会・メンバー交流会の開催 2011年6月30日
MMC 三原 孝士
一般財団法人・マイクロマシンセンター MEMS協議会はMEMSを中心とした我国の産業競争力の強化を目的に、MEMS関連企業の構成メンバーが中心となってアフィリエート関係にあるアカデミア、地域拠点や海外機関と連携しつつ、行政・関係機関への政策提言や産業交流・活性化のための様々な活動を行っています。最近ではMEMS開発のためのインフラ整備活動に重点をおいて、MEMSファンドリー活動、MemsONE普及促進、人材育成等を強化してきましたが、更に2011年4月1日にTIA(つくばイノベーションアリーナ)の活動の一環として産業技術総合研究所・集積マイクロシステム研究センターの最先端MEMS施設を有効に利活用するマイクロナノオープンイノベーションセンター(MNOIC)を発足しました。このような背景の下で、メンバーの交流の場として毎年開催されるMEMS協議会・メンバー交流会(2011年6月30日に開催)では、経済産業省・研究開発課、および独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構・機械システム部からのご来賓を交えて、今年度はこの新たに発足したMNOICに対する意義、期待や課題に対する議論を交える場として開催しました。ご来賓の方々、MEMS協議会メンバーを合わせて約50人の参加であり、MNOICの潜在ユーザとの意見交換が出来た有意義な会でした。多くの意見を取り入れて、MNOICの運営に生かして行きたいと思います。

技術研究組合NMEMS技術研究機構の平成23年度第1回臨時総会が、設立登記日(平成23年7月13日)の翌日である7月14日(木)に、東京ビッグサイト会議棟6F会議室にて開催されました。
組合員全員の出席の下、総会では、組合設立後最初の総会ということで、今仲理事長からの設立趣旨報告に続いて、平成23年度の事業計画・予算や規約・規定の制定などが審議され承認されました。また、この場で、株式会社エヌ・ティ・ティ・データが新規の組合員として承認されました。

総会終了後は、マイクロマシン展特設会場Bにて、組合員及び関係者出席のもと、技術研究組合NMEMS技術研究機構設立記念パーティが開催されました。(MNOIC設立記念も兼ねてのパーティでした。)
パーティでは、今仲理事長の挨拶の後、来賓のNEDO(新エネルギー・産業技術総合開発機構)の久木田機械システム部長から乾杯のご発声を頂き、その後、一村理事の挨拶、前田研究所長の挨拶、伊藤、谷岡両センター長の挨拶に加え、MNOICから荒川センター長の挨拶がありました。

技術研究組合NMEMS技術研究機構として、まずは順調に船出を迎えることができました。
今後の研究開発の進捗にご期待下さい。

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総会会場

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今仲理事長の設立パーティ挨拶

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来賓のNEDO 久木田機械システム部長のご挨拶・乾杯

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一村理事の挨拶

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前田研究所長の挨拶

総合イベント・マイクロナノ2011・第22回マイクロマシン/MEMS展を、7月13日(水)から15日(金)の3日間、東京ビッグサイト東1・2ホールにて開催致しました。
マイクロマシン/MEMS展は、世界最大規模のMEMS、超精密・微細加工、ナノテク、バイオに関する国際見本市として今回も大変注目を集めました。また、昨年好評を博したサービスロボットの製造技術に関する見本市「第2回ROBOTECH - 次世代ロボット製造技術展」を同時開催し、この面からも注目されました。
来場者数は集計中ですが、連日の猛暑にも係わらずご熱心な入場者で会場は盛況となりました。東日本大震災の影響からまだ抜けきれていない現状ではありますが、出展企業等からは、東日本大震災からの経済的復興に向けての強い姿勢が感じられた展示内容でした。
また、開催中には様々なシンポジウムが開催されましたが、冒頭のシンポジウムである国際シンポジウムでは、作田理事長からの開会挨拶に続いて、経済産業省製造産業局産業機械課 藤木課長から来賓挨拶を頂きました。

期間中は晴天続きではありましたが、猛暑の中、ご来場戴きました入場者の皆様方と、総合イベント・マイクロナノ2011・第22回マイクロマシン/MEMS展に関係された全ての皆様方に、無事終了のお知らせと、併せて、御礼と感謝を申し上げます。

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会場入場口

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会場内ブース

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マイクロマシンセンターブース

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国際シンポジウム会場

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作田理事長 開会挨拶

マイクロマシンMEMS展ブース便り4
マイクロマシンセンターのブースを中心に展示の様子をお伝えしています。
上の写真は7/15三日目の標準化事業をご紹介するブースでの情景です。マイクロマシンセンターが日本代表として、マイクロマシンMEMSに関する技術要項のIEC,JIS規格化を推進しています。
普及促進部

マイクロマシンMEMS展ブース便り3
マイクロマシンセンターのブースを中心に展示の様子をお伝えしています。
上の写真は7/14二日目のMEMSモールとファンドリーサービスのブースです。MEMS製品と技術の紹介サイトとファンドリーサービスネットワークについてご説明しています。
普及促進部

マイクロマシンMEMS展ブース便り2
マイクロマシンセンターのブースを中心に展示の様子をお伝えしています。
上の写真は7/14二日目のMNOIC(マイクロナノオープンイノベーションセンター)ブースの情景です。8-12インチMEMSライン'TKB812'を中核設備として、研究試作開発の場を提供いたします。
普及促進部

マイクロマシンMEMS展ブース便り1
マイクロマシンセンターのブースを中心に展示の様子をお伝えします。
上の写真は昨日7/13初日のMemsONEブースの情景です。このソフトは年々進歩していて、最近バージョン4.0がリリースされて、機能と使い勝手が大幅にアップしました。是非お試しください。
普及促進部

マイクロマシン/MEMS展が、いよいよ7月13日から15日の3日間、東京ビッグサイトの東1・2ホールで開催されます。

マイクロマシンセンターの出展テーマは次のようになっています。
1 受付・コンシェルジェ
2 MEMS協議会
3 調査・研究事業
4 MEMSファンドリー
5 MEMSモール
6 MemsONE
7 MEMSPedia
8 標準化事業
9 MNOIC
10 GデバイスPJ成果
11 グリーンセンサネットワーク

展示ブース番号はH-25。展示会場中央の奥にあります。会場にお越しになったら、まず私どものブースに足をお運びください。コンシェルジェが皆さまをサポートいたします。

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上の写真は、マイクロマシンセンター展示ブースの設営中の情景を写したスナップです。飾り付けや展示パネル、説明用パソコンにビデオなど、さらには飲み物の仕込みも終わり、あとは掃除だけ、ひっそりと開会を待つといった風情です。

普及促進部投稿

本日、技術研究組合 NMEMS技術研究機構の設立が認可されました。

我が国企業は電子部品で約4割の世界シェアを持つといわれていますが、センサの種類別にみますと欧米メーカーに大半を占められているものもあります。また、汎用品ではアジア勢もシェアを伸ばしており、世界で激しい技術開発競争が行われています。               

このような状況において、省エネ効果に寄与するグリーンMEMSセンサ機能、無線通信機能、自立電源機能及び超低消費電力機能等を付与した革新的センサの開発は、主要各国と比べても技術的優位性を保ち得る先駆的な取り組みであり、ユーザーを含めそれぞれの得意分野を有する企業の英知を用いて、いち早く成果を創出することで、センサ及びセンサネットワーク産業における我が国の国際競争力を向上させることが大いに期待されます。               

これらの要請に応えるため、今般「技術研究組合 NMEMS技術研究機構」を設立して、NEDO技術開発機構との共同研究開発方式による技術開発プロジェクトを推進していくこととなったものです。

今後、平成23年から26年度までの4年間を研究実施期間として、「グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト」を実施し、革新的かつ実用的で安価な小型グリーンセンサを開発するとともに、それらを用いたネットワークシステムを構築して、環境計測やエネルギー消費量等の把握(見える化)及びエネルギー消費量の制御(最適化)を可能にし、10%以上の省エネ効果を実証を行うこととしております。

 (NMEMS技術研究機構のURLアドレス)
http://www.nmems.or.jp/

(青柳桂一@マイクロマシンセンター)

MemsONE実習講座の大阪第1回を平成23年7月1日(金)に、東京第2回を平成23年7月8日(金)に開催しました。本実習講座は、使用方法をより効果的に習得してもらうために、実際にパソコン上で操作演習を行うもので、「基本操作コース」と「解析コース」の2コースがあります。今回の大阪第1回は「基本操作コース」で、東京第2回は「解析コース」でした。大阪第1回の受講者は2名で、東京第2回は定員の3名でした。参加者5名の内の4名は、MemsONE導入評価を目的としていますので、今後の導入に期待が持てます。
なお、今回の実習講座の概要は、以下の通りです。

大阪第1回実習講座「基本操作コース」の概要
◆だいやまーく開催日時: 平成23年7月1日(金)13:00〜17:00
◆だいやまーく開催場所: 日本ユニシス・エクセリューションズ(株) 中之島ダイビル15F
◆だいやまーく受講者数: 2名(定員5名)
◆だいやまーく実習内容: 1)MemsONEの概要とCAD機能の基本操作
2)機構解析の手順演習
3)プロセス解析の手順演習
4)2次元解析の手順演習

東京第2回実習講座「解析コース」の概要
◆だいやまーく開催日時: 平成23年7月8日(金)13:00〜17:30
◆だいやまーく開催場所: 日本ユニシス・エクセリューションズ(株) 本社4F
◆だいやまーく受講者数: 3名(定員3名)
◆だいやまーく実習内容: 1)弾塑性・熱弾塑性解析に関する解説および演習
2)圧電解析に関する解説および演習
3)マルチプロセスエミュレータに関する解説および演習
4)ウェットエッチングに関する解説および演習

[画像:Ca390070]

東京第2回「解析コース」受講風景

IEC SC47F/WG1国際標準化会議に引き続き、6月24日に沖縄コンベンションセンターにて、MEMS標準化ワークショップが開催されました。今回は中国が不参加のため日韓2国のみでしたが、将来の標準化に向けて開発している内容や、MEMSに関連する研究開発のトピックスが各国より紹介され、それぞれの発表に対して活発に質疑応答がなされました。各発表の概要を以下に示します。

1)" Research trends of thermoelectric devices and the related works in ETRI(熱電デバイスと関連研究の動向) " Hojun Ryu、 ETRI(韓国電子通信研究所)
最初にETRIについて紹介した後、アメリカのエネルギーフロー図を示しながら熱伝素子の将来にわたる重要性が説明されました。また、熱伝素子の発電メカニズムと応用への問題点を説明した後、世界で行われている研究のおもな成果が報告されました。最後に韓国のETRIで行われている関連研究が紹介され、今後の熱伝素子に関する国際標準化への方針が説明されました。
国際標準としておもに発電効率ZT値を計測するための方法と回路パターンおよび計測パラメーターが考えられています。

2)"Evaluation of adhesive strength for microsized materials in MEMS(MEMSにおけるミクロスケール材料の接合強度の評価)" 石山千恵美、東京工業大学
はじめにMEMSデバイスに用いられる構造材料の評価試験方法が紹介されました。この試験方法に関してはすでにIECのCDVとなっており規格化中ですが、この試験方法を応用し、超臨界炭酸ガス環境での微細パターンの洗浄に関する研究成果が発表されました。特に超臨界炭酸ガス洗浄は洗浄力が非常に強いが、構造物の基板への接着強度を低下させるおそれがあることが従来指摘されていました。しかし、超臨界からの減圧過程が重要であり、条件次第では強度劣化を伴わない洗浄方法があることが発表されました。

3)" Measurement methods of residual stress of thin films on MEMS devices(MEMSデバイスにおける薄膜の残留応力の測定法)" Sekwang Park、Kyungpook国立大学
最初に、このタイトルは今後韓国からの国際標準に提案されるものであることが述べられました。まず残留応力の評価の重要性、分類方法、計測法の概略が述べられ、次に放射線計測など各計測法についての特徴などが述べられました。今後これらの計測法について国際標準化を行っていくことが発表されました。司会進行役より、標準化を提案する場合は実際の計測限界寸法を記載するよう依頼されました。

4)" Micro-Geometric Specifications & Measurements of 3D MEMS Structures for International Standardization (MEMS3次元構造の形状計測法)" 磯野吉正、神戸大学
高アスペクトを有する3次元MEMS構造の形状測定法について報告がありました。ボッシュプロセスを用いたトレンチ構造、異方性エッチングにより作製した針(三角錐構造)を試料とし、FE-SEM、白色干渉計(Coherence Scanning Interferometer), Optical trapped probing CMM (coordinate measuring machine), 触針式段差計, 共焦点レーザ顕微鏡,AFM,光学顕微鏡による測定結果を比較しています。これらの成果を元に今後NP提案を行う予定です。

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