携帯URL

ケータイ用アドレス
携帯にURLを送る

このブログについて

  • 著作権の扱い方
    著作権はコメントを含めて投稿者に帰属します。投稿者本人が著作権をもち、責任も持つという意味です。 リンクはご自由にして構いません。 原則公開です。 批判も含めてコメントは公開いたしますが、営利目的などの記事は、管理者権限で削除することがあります。コメントは管理者の承認後、反映されます。 ただし、TBは現在許可していません。

著作

  • 共著:「次世代センサハンドブック」培風館(2008)、「マイクロセンサ工学」技術評論社(2009.8)
  • 連絡先
    私への講演、セミナー、技術指導などのご依頼はこちらまで↓ okayamaproあっとまーくyahoo.co.jp あっとまーくは半角の@にしてください
  • 単独著
    アナログ電子回路設計入門 (1994.12)、コロナ社: 実践アナログ回路設計・解析入門 (2005.1)、日刊工業: オペアンプ基礎回路再入門 (2005.7)、日刊工業: ダイオード・トランジスタ回路入門 (2005.12)、日刊工業: スイッチングコンバータ回路入門 (2006.9)、日刊工業: これならわかるアナログ電子回路基礎技術 (2007.6)

専門とする事項

  • 電源を含む精密アナログ電子回路の設計・開発、およびその教育、技術指導。センサ・アクチュエータシステムの構築。電子機器の不良解析指導および再発防止指導。解析主導型設計の推進と回路シミュレータの実践的活用指導。技術的側面からのプロジェクト管理指導。

Twitter

新刊

  • 岡山 努: アナログ電子回路の基礎と入門!これ1冊

« プッシュプルフライバックコンバータ | トップページ | 2重化して良かった。 »

2011年12月20日 (火)

初?の3D-MEMS

Eiこれは、おそらく世界初の3D-MEMSの構造図の写真。

学術的価値は高いものだが、学会発表はしていない。当時の上長が許さなかったのだ。

この構造より性能評が劣り、しかも時間的に私の方が先の構造でSICEの招待講演が出来たレベルのものだ。

アナログエンジニアはこの特許に強い思い出がある。

特許登録No:P01483019 (1989)で広い請求範囲で成立した。当然、発明者はアナログエンジニア単独。

半導体微差圧(500Pa FS)や絶対圧の測定が可能。しかも、この感度で大撓み理論から、1500hPaの過大圧に耐える。

回路を少し工夫すれば、航空機用気圧高度計にも使える性能をもつ。

測定範囲が500Paにしているのは、精密な校正手段がなかったからだ。

温度補償はゼロ点、感度およびゼロ温度補償と感度の干渉項の2-3次の温度補償(P01007153)などの方法で実現した。

図にあるように、通常のSiダイアフラムセンサより1工程プロセスが長いので今は製作されていない。

共振周波数は数kHzで、知り合いの東大の教授が実測してくれた。音波にもドアの開閉時の気圧変化にも応答する。

アナログエンジニアのいくつかのセンサ特許の一例である。

『人気Blogランキング』の「自然科学」部門に参加しています。今日も貴重な応援の1票をよろしくお願いします。【押す】

2011年12月20日 (火) 工学 | 固定リンク

« プッシュプルフライバックコンバータ | トップページ | 2重化して良かった。 »

「工学」カテゴリの記事

コメント

この記事へのコメントは終了しました。

2021年11月
日 月 火 水 木 金 土
1 2 3 4 5 6
7 8 9 10 11 12 13
14 15 16 17 18 19 20
21 22 23 24 25 26 27
28 29 30

現在のランキング

  • AltStyle によって変換されたページ (->オリジナル) /