百瀬 健

講演・口頭発表等

• "Electrochemistry in Supercritical CO2-based Bicontinuous Microemulsions"

  S. Kanazaki, M. Kunitake, T. Momose

  The International Conference on Supercritical Fluids 14th Supergreen 2026, August 3-6, 2026, Sapporo, Hokkaido, Japan.
• "Direct Electrochemical Reduction of CO2 in Supercritical CO2-Water Bicontinuous Microemulsions"

  S. Kanazaki, M. Kunitake, T. Momose

  The International Conference on Supercritical Fluids 14th Supergreen 2026, August 3-6, 2026, Sapporo, Hokkaido, Japan.
• "Pre-Treatment Strategies for Supercritical Fluid Deposition of Cu toward Low-Loss THz Waveguides: Supercritical Extraction and Oxygen Annealing"

  K. Uehara, M. Hirayama, T. Momose

  The International Conference on Supercritical Fluids 14th Supergreen 2026, August 3-6, 2026, Sapporo, Hokkaido, Japan.
• "Imaging Ellipsometry with LHAR Test Structure Characterizing ALD Conformality"

  H. Nishizato, Y. Nakaya, L. Jin, T. Momose

  AVS 26th International Conference on Atomic Layer Deposition Featuring the 13th International Atomic Layer Etching Workshop (ALD/ALE 2026),, June 28-July 1, 2026, Tampa, Florida.
• "On-Demand Precursor Delivery for Atomic Layer Deposition Using Machine Learning-Based Feedforward Control of Piezoelectric Valves"

  K. Ishiada, H. Nishizato, S. Oda, Y. Nakaya, K. Nasu, H. Okajima, T. Momose

  AVS 26th International Conference on Atomic Layer Deposition Featuring the 13th International Atomic Layer Etching Workshop (ALD/ALE 2026), June 28-July 1, 2026, Tampa, Florida.
• "Control of Selectivity in SiN ALD using Hydrazine"

  H. Murata, Y. Wada, H. Shimizu, T Momose

  Ares Selective Deposition Workshop (ASD 2026), March 29-April 1, 2026, Albany, New York. 2026年3月30日
• "TSV"

  Takeshi Momose

  International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference (IMPACT) 2025, October 22-24, Taipei, Taiwan. 2025年10月23日 招待有り
• "Supercritical fluid technologies for semiconductor fabrication"

  Takeshi Momose

  14th International Symposium on Supercritical Fluids and 9th International Solvothermal and Hydrothermal Association Conference (ISSF-ISHA 2025)(keynote) 2025年6月 招待有り
• 「高放熱性3D Chipletに向けた高熱伝導AlN膜の研究」

  高木剛, 二宮健生, 丹羽正昭, 小原聡顕, 百瀬健, 霜垣幸浩, 野村政宏, 藤岡洋, 森 正和, 黒田忠広

  電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会(SDM) 2025年2月19日 招待有り
• 「超臨界流体薄膜堆積法(SCFD)の基礎と反応工学を活用した高度化」

  百瀬 健

  薄膜材料デバイス研究会 第21回研究集会 2024年11月29日 招待有り
• 「高熱伝導率を有するAlN膜の研究と先端3D Chipletへの応用」

  高木剛, 二宮健生, 丹羽正昭, 小原聡顕, 百瀬健, 霜垣幸浩, 野村政宏, 藤岡洋, 森正和, 黒田忠広

  シリコンテクノロジー分科会第253回研究集会「プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般」 2024年11月7日 招待有り
• "High-Quality Co Thin Film by Thermal ALD Using CCTBA Precursor by controlling H2 Dose"

  Jun Yamaguchi, N. Sato, A. Tsukune, T. Momose, Y. Shimogaki

  AVS 24th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2024) 2024年8月
• "High thermal conductivity AlN films for advanced 3D Chiplets"

  T. Takagi, T. Ninomiya, M. Niwa, S. Obara, T. Momose, Y. Shimogaki, M. Nomura, H. Fujioka, M. Mori, T. Kuroda

  2024 IEEE Symposium on VLSI Technology & Circuits 2024年
• "Investigation of Cu barrier properties of 1-nm-thick PVD-Co(W) films as a single liner/barrier in next-generation ULSI-Cu interconnect"

  Yubin Deng, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki

  IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) 2024年
• "Enhancement of Co-ALD selectivity by vapor phase surface modification and ALE combination"

  Jun Yamaguchi, Noboru Sato, Atsuhko Tsukune, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki

  Area Selective Deposition Workshop (ASD) 2024 2024年4月
• "In Situ observation on the initial Co-ALD film growth using spectroscopic reflected light measurements"

  Shunsuke Kimura, Jun. Yamaguchi, Noboru Sato, Atsuhiko Tsukune, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki

  Area Selective Deposition Workshop (ASD) 2024年4月
• Supercritical fluid deposition for semiconductors

  Takeshi Momose

  The Society of Chemical Engineering, Japan, 89th annual Meeting (international session) 2024年3月18日 招待有り
• 超臨界流体薄膜堆積法の基礎と半導体応用

  百瀬 健

  公益社団法人 新化学技術推進協会 2024年1月25日 招待有り
• 半導体集積地熊本での薄膜プロセス研究

  百瀬 健

  化学工学会東北支部夏季セミナー 2023年9月27日 招待有り
• タイムラグ法を用いた極薄PVD-Co(W)薄膜の定量的バリア性評価

  百瀬健, 金泰雄, 鄧玉斌, 出浦桃子, 松尾明, 山口述夫, 霜垣幸浩

  電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会 2022年2月4日 招待有り