真空バルブ
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真空バルブ(しんくうバルブ)は、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種である。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければならない。また、その構成材料は殆どの場合真空用材料によって構成されている。
真空バルブの種類
[編集 ]真空バルブは気体(分子や原子)の遮断するものとコントロールするものと2つに分類される。
遮断バルブ
[編集 ]通常真空バルブという場合この遮断バルブを示す。このバルブは大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブである。形状により何種類かのバルブがあるが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられる。 主に以下の種類がある。
コンダクタンスバルブ
[編集 ]真空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブである。コンダクタンスバルブにはガスの流量を制御しながら真空チャンバーに導入するためのバリアブルリークバルブと、真空ポンプと真空チャンバーとの間に入れることにより実行排気速度を制御するためのコンダクタンスバルブとがある。 以下の種類がある。
関連項目
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