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クヌーセンセル

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(2023年5月)

クヌーセンセルは、比較的分圧の低い元素ソースの蒸着源として結晶成長学の分野でよく用いられる。例として、ガリウムアルミニウム水銀ヒ素などがある。この方法は蒸発温度制御が容易であるため、分子線エピタキシーでは一般的に使われている。

典型的なクヌーセンセルは、るつぼ(熱分解窒化ホウ素石英タングステングラファイトなどでできている)、加熱フィラメント(タンタル製のことが多い)、冷却水装置、熱シールド、開口部シャッターからなっている。

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