台湾ITRIサウスのお客様、MNOICを訪問: MEMSの波(ブログニュース)

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2013年9月 6日 (金)

台湾ITRIサウスのお客様、MNOICを訪問

2012年4月に台湾・新竹市にて第18回マイクロマシンサミット(Micromachine Summit 2012)が開催されたことは既にブログにて報告しました。その折に、台南市のITRIサウス(MSTC)のMEMS研究施設の見学と情報交換会を実施しました。その時に情報交換をさせて頂いた、朱俊勳(Chun-Hsun. Chu)様(台湾工業技術研究院南分院副執行長)と台湾工業技術研究院・日本事務所の鄭恵文(ていけいぶん)様がMNOICを来訪されましたので報告致します。ITRIはご存知のように台湾の半導体や電子デバイスの産業を育成・支援した研究所ですが、MEMSでも同様な取り込みがなされています。特に台湾では半導体とMEMSの組み合わせを重視し、またCMOS標準プロセスの配線層を機構部として有効に使った、MEMS標準プロセスによる乗合バス方式でMEMS参入の障壁を低くする等の取り組みをされています。今回は、MNOIC所長・今仲行一、開発センタ長・荒川雅夫がホストになって、情報交換を行いました。朱様によると、MEMSを台南市(台湾南部の最大の都市)で展開する理由は、台湾での工業地域が台北や新竹に一極集中するのを避け、産業が台湾全体に広げるためと言うことでした。(一般財団法人マイクロマシンセンター・MEMS協議会・MNOIC事業三原孝士)