チャン ツォーフー マーク

MISC

• 静電容量型MEMS加速度センサにおける金錘の形状による反り抑制の検討—Warpage suppression of the gold proof-mass by its shape design toward MEMS capacitive accelerometers—第17回集積化MEMSシンポジウム

  奥村 雅子, 栗岡 智行, 森 達彦, 山田 虎人, 向出 隼人, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田 克之, 三宅 美博, 曽根 正人 …

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 42 4p 2025年11月
• 静電容量型MEMS加速度センサに向けたTi/Au積層マイクロカンチレバーの実効ヤング率に対するアニール処理の影響評価—Evaluation of Annealing Effects on Effective Young's Modulus of Ti/Au Multi-Layered Microcantilevers for MEMS Capacitive Accelerometers—第17回集積化MEMSシンポジウム

  Chun-Yi Chen, 栗岡 智行, 渡邉 春海, 森 達彦, 曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 42 4p 2025年11月
• マイクロgレベル検出のためのAu錘1軸MEMS加速度センサにおける錘構造パラメータがデバイス特性に及ぼす影響—Effect of Proof-Mass Structure Parameters on Device Characteristics of Gold Single-Axis MEMS Accelerometer for Micro-g Level Sensing—第16回集積化MEMSシンポジウム

  伊藤 浩之, 山田 虎人, Chang Tso-Fu Mark, 栗岡 智行, 曽根 正人, 御宿 希祐, Devi Srujana Tenneti, 向出 千隼, 三宅 美博, 町田 克之

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 41 5p 2024年11月
• デュアルレンジ検出のためのAu錘1軸MEMS加速度センサにおける錘反り抑制手法の検討—Suppression of Warpage in proof-masses of Dual Detection Range Gold Single-Axis MEMS Accelerometers—第16回集積化MEMSシンポジウム

  曽根 正人, 三宅 美博, 伊藤 浩之, 向出 千隼, Devi Srujana Tenneti, 御宿 希祐, 山田 虎人, 町田 克之, Tso-Fu Mark Chang, 栗岡 智行

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 41 4p 2024年11月
• MEMS加速度センサのためのTi/Au多層カンチレバーの実効ヤング率に対する測定電圧依存性に関する研究—Dependence of Applied Voltages on Effective Young's Modulus of Ti/Au Multi-Layered Micro-Cantilevers for MEMS accelerometers—第16回集積化MEMSシンポジウム

  渡邉 春海, Tenneti Devi Srujana, Tso-Fu Mark Chang, 栗岡 智行, Chun-Yi Chen, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 41 4p 2024年11月
• 静電容量型MEMS加速度センサーのためのTi/Au積層マイクロカンチレバーの構造安定性に対する熱処理の影響評価—Evaluation of the Effect of Heat Treatment on Structural Stability of Ti/Au Multi-layered Microcantilevers for MEMS Capacitive Accelerometers—第16回集積化MEMSシンポジウム

  栗岡 智行, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人, 宮井 良介

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 41 5p 2024年11月
• 微細化めど/光触媒機能も 住友、強相関電子材料で成果

  化学工業日報 朝刊2面 2024年5月27日
• Au錘1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサのための錘位置制御電極の検討—Development of Proof-mass Position Control Electrodes for Au Proof-mass Single-Axis Differential CMOS-MEMS Accelerometer—第15回集積化MEMSシンポジウム

  御宿 希祐, 大西 哲, Tenneti Devi Srujana, 町田 克之, 栗岡 智行, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 三宅 美博, 伊藤 浩之

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 40 3p 2023年11月
• ウェアラブルデバイス応用に向けた超臨界二酸化炭素を用いた無電解めっきによる繊維材料のメタライゼーション—Metallization of Textile by Electroless Plating Using Supercritical Carbon Dioxide Toward Application into Wearable Devices—小特集 ウエアラブル及びインプランタブルデバイスと表面処理

  邱 琬婷, 三本 大貴, 徳岡 賢一, 栗岡 智行, 陳 君怡, ツォーフ・マーク チャン, 黒子 弘道, 曽根 正人

  表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan 74(1) 14-18 2023年1月
• 高感度MEMSセンサモジュールのためのデバイスの評価

  内山晃宏, 柴田滉平, 大西哲, 町田克之, 緒方大樹, 石原昇, 内富寛隆, CHANG Tso-Fu Mark, 曽根正人, 三宅美博 …

  応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年
• 微弱筋音測定のための高感度MEMSセンサモジュールの検討

  大西哲, 柴田滉平, 内山晃宏, 町田克之, 緒方大樹, 石原昇, 内富寛隆, CHANG Tso-Fu Mark, 曽根正人, 三宅美博 …

  応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年
• Au錘1軸MEMSセンサモジュールのノイズフロアの評価

  大西哲, 御宿希祐, TENNETI Devi Srujana, CHAKRABORTY Parthojit, 町田克之, 緒方大樹, 内富寛隆, CHANG Tso-Fu Mark, 曽根正人, 三宅美博 …

  応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 83rd 2022年
• Mechanistic Insights into Photodegradation of Organic Dyes Using Heterostructure Photocatalysts

  Yi-Hsuan Chiu, Tso-Fu Chang, Chun-Yi Chen, Masato Sone, Yung-Jung Hsu

  Catalysts 9(5) 430-430 2019年5月9日 査読有り責任著者
• 電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価

  寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
• 高感度MEMS加速度センサー用金電気めっきの変形挙動および強度の結晶方位依存性評価

  葭葉 将治, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人, 名越 貴志

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
• 微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価

  浅野 啓介, 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人, 名越 貴志, 町田 克之

  「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 33 1-4 2016年10月2日
• 超臨界ナノプレーティング法によるめっき処理面のレベリング向上—Enhanced leveling effect on plated metal surface using supercritical nanoplating—特集 研磨要らずで鏡面仕上げ

  内山 浩幹, ツォーフ マーク チャン, 陳 君怡, 曽根 正人

  Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 60(9) 497-500 2016年9月
• OS2-2-5 電鋳リフトオフプロセスによる厚膜パターニング(OS2 三次元の微細形状創成技術(2))

  萩山 拓也, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 秦 誠一

  マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2012(4) 151-152 2012年10月21日