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今回の出展で植物工場とともにデモンストレーションを行っている「省エネ型スマートクリーンルーム」が好評を博しています。これはセンサネットシステムモニタリングによるクリーンルームの省エネ化で、センサネットを用いて温度、湿度、クリーン度、消費電力などをきめ細やかにモニタし、必要最小限のエネルギーで環境を維持することを目指す試みです。現在、産業技術総合研究所東事業所に建設中の8インチMEMSラインクリーンルームで実証研究を予定しています。写真は「省エネ型スマートクリーンルーム」のデモ用模型で、クリーン度が落ちた個所だけクリーンフィルタユニットが動作する様子を分かりやすくご紹介しています。
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