Titancarbonitrid
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Titancarbonitrid, oder auch Ti(C,N), ist ein Mischkristall aus Titannitrid und Titancarbid. Die Verbindung zeichnet sich durch die extrem hohe Härte des Titancarbids und die chemische Beständigkeit des Titannitrids aus. Besonders bei der Beschichtung von Zerspanungswerkzeugen wird diese Verbindung häufig eingesetzt.[1]
Herstellung
[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten ]Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD):
- {\displaystyle \mathrm {2,円Ti+N_{2}+2,円CH_{4}\longrightarrow 2,円Ti(C,N)+4,円H_{2}} } (hier: 50 % Titannitrid, 50 % Titancarbid)
Chemische Gasphasenabscheidung (CVD):
- Hochtemperaturcarbonitrid (HT-Carbonitrid):
- {\displaystyle \mathrm {2,円TiCl_{4}+N_{2}+2,円CH_{4}\longrightarrow Ti(C,N)+8,円HCl} } (hier: 50 % Titannitrid, 50 % Titancarbid)
- Mitteltemperaturcarbonitrid (MT-Carbonitrid):
- {\displaystyle \mathrm {2,円TiCl_{4}+CH_{3},円\mathbf {CN} (+Sp{\ddot {u}}lgas,円H_{2})\longrightarrow Ti(C,N)+CH_{4}+4,円HCl} } (Immer: 50 % Titannitrid, 50 % Titancarbid)
Vorteil des Mitteltemperaturcarbonitrids ist das gleichmäßige Aufwachsen der Schicht durch die Cyanidgruppe des Acetonitrils. Allerdings kann hier nur 50/50-Carbonitrid hergestellt werden. Beim HT-Carbonitrid hingegen spielen die unterschiedlichen Reaktionsgeschwindigkeiten des Methans und des Stickstoffs eine wesentliche Rolle.
Weblinks
[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten ]Einzelnachweise
[Bearbeiten | Quelltext bearbeiten ]- ↑ Titanbeschichtungen von Zerspanungswerkzeugen (englisch).