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片柳研究所 バイオナノテクセンター
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エキシマレーザー微細加工装置
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フェムト秒レーザー超微細加工システム
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カーボンナノチューブ製造装置
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薄膜作製装置(スパッター)
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三次元精密加工装置(ロボドリル)
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マスクアライナー〈ミカサ製〉
マスクアライナー〈ミカサ製〉
スピンコーター〈ミカサ製〉
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