AI機器人會走路、辨識物體,不代表就能進入晶圓廠。達明機器人(4585)營運長黃識忠指出,半導體工廠設備昂貴,產能利用率要求極高,若機器人動作跟不上原有生產節拍,反而讓機台等待自動化設備、拖慢產能,再先進的技術也不可能被採用。對晶圓廠而言,機器人能否落地的兩項核心指標,是生產週期(Cycle Time)與投資報酬率(Return on Investment,......
High NA EUV(高數值孔徑極紫外光微影)把數值孔徑從0.33提高至0.55,帶來更高解析度及成像對比,卻也同時縮小景深與曝光視場,衍生對焦裕度不足、晶片圖形必須拼接兩大難題。ASML(NASDAQ:ASML;Euronext Amsterdam:ASML)High NA EUV產品管理資深副總裁Greet Storms於SEMICON Taiwan ......
High NA EUV(高數值孔徑極紫外光微影)正式跨越研發驗證,邁向高量產製造。ASML(NASDAQ:ASML;Euronext Amsterdam:ASML)High NA EUV產品管理資深副總裁Greet Storms於SEMICON Taiwan 2026指出,EXE:5200B已在AB模式下達到每小時135片晶圓的驗收產能,全球EXE系統累計曝......