論文

査読有り
2018年

Field dependence of evaporated ion species in field-induced chemical etching of tungsten with oxygen and nitrogen

2018 31ST INTERNATIONAL VACUUM NANOELECTRONICS CONFERENCE (IVNC)
記述言語
英語
掲載種別
研究論文(国際会議プロシーディングス)
リンク情報
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000454819000133&DestApp=WOS_CPL
ID情報
  • ISSN : 2164-2370
  • Web of Science ID : WOS:000454819000133
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