この研究では, マイクロマシーニングにより, 平面コイルとキャパシタによるフィルタ回路を柔軟構造の一部となるように製作し, それをアレイ状にならべて触覚センシングユニットを構築した。柔軟構造への圧力により, コイルが容易に変形し, その結果インダクタンスが変化するため, これを触覚センサとして用いることができる。とくに今回はコイルのレイアウト・回路方式を最適化し, 触覚センシングに適したフィルタ回路を提案し, その特性評価を行った。