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薄膜工学

白木靖寛, 吉田貞史編著

丸善, 2003.3

タイトル読み

ハクマク コウガク

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注記

監修: 金原粲

文献: 項目末

内容説明・目次

内容説明

薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。いわゆる情報化社会を可能にしている技術をハード面で支えているのが、薄膜技術である。本書は、その基本事項を解説するとともに、最新技術の紹介も行い、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説する教科書である。

目次

  • 1 総論(薄膜の機能と応用;薄膜形成技術;膜成長過程とエピタキシー;薄膜の歴史)
  • 2 薄膜の作製法(真空蒸着;スパッタリング法;化学気相成長法)
  • 3 薄膜の機能(半導体薄膜;光学薄膜;有機薄膜;誘電体薄膜;磁性薄膜)
  • 4 薄膜の性質と応用(膜厚測定法;薄膜の機械的・力学的性質;薄膜の化学的性質;電子デバイスへの応用)

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA6132389X
  • ISBN
    • 4621071432
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    xiii, 310p
  • 大きさ
    21cm
  • 分類
  • 件名
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