TY - BOOK AU - 白木, 靖寛 AU - 吉田, 貞史 AU - 金原, 粲 TI - 薄膜工学 PB - 丸善 PY - 2003 EP - xiii, 310p UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA6132389X SN - 4621071432 ER -

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