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研究論文タイトル
Development of 6-axis Motion Sensors Using Piezoelectric Elements.
Development of 3-axis Gyro-Sensor Using Piezoelectric Element.
Micromachined 5-Axis Motion Sensor with Electrostatic Drive and Capacitive Detection.
ベンチャービジネスとマイクロマシーニング
The 5-Axis Motion Sensor
HIGH-SENSITIVE THREE AXIS SOI CAPACITIVE ACCELEROMETER USING DICING METHOD.
3軸加速度センサ 〜ピエゾ抵抗効果、静電容量、圧電効果を利用した3軸加速度センサ〜
加速度を検出するセンサ 〜検出対象別にみたセンサ活用技術〜
3軸ピエゾ抵抗型加速度センサ
Development of Tri-Axial Accelerometers Using Piezoresistance, Electrostatic Capacitance and Piezoelectric Elements.
Tri-Axial Piezoresistive Accelerometer.
Flat-Type Six-Axial Force-Sensor.
このページでは、弊社が過去に学会・専門誌等各方面でリリースした論文・記事を掲載しています。
Development of 6-axis Motion Sensors Using Piezoelectric Elements.
(第21回センサシンポジウム、2004年) 論文(PDFファイル)
Development of 3-axis Gyro-Sensor Using Piezoelectric Element.
(第20回センサシンポジウム、2003年) 論文(PDFファイル)
Micromachined 5-Axis Motion Sensor with Electrostatic Drive and Capacitive Detection.
(第18回センサシンポジウム、2001年) 論文(PDFファイル)
ベンチャービジネスとマイクロマシーニング
(電気学会、2000年) 論文(PDFファイル)
The 5-Axis Motion Sensor
(第16回センサシンポジウム、1998年) 論文(PDFファイル)
HIGH-SENSITIVE THREE AXIS SOI CAPACITIVE ACCELEROMETER USING DICING METHOD
(第16回センサシンポジウム、1998年) 論文(PDFファイル)
3軸加速度センサ 〜ピエゾ抵抗効果、静電容量、
圧電効果を利用した3軸加速度センサ〜
(計測技術、1997年) 論文(PDFファイル)
加速度を検出するセンサ 〜検出対象別にみたセンサ活用技術〜
(自動化技術、1994年) 論文(PDFファイル)
3軸ピエゾ抵抗型加速度センサ
(センサ技術、1993年) 論文(PDFファイル)
Development of Tri-Axial Accelerometers Using
Piezoresistance,
Electrostatic Capacitance and Piezoelectric Elements
(第13回センサシンポジウム、1993年) 論文(PDFファイル)
Tri-Axial Piezoresistive Accelerometer.
(第11回センサシンポジウム、1992年) 論文(PDFファイル)
Flat-Type Six-Axial Force-Sensor.
(第9回センサシンポジウム、1990年) 論文(PDFファイル)
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