製品情報

連続式を極めた高生産性常圧CVD装置

AMAX800V

搬送機構の改良により高スループットを実現しました。
低温常圧下での熱化学反応がより効果的に生じるように最適化されたAMAX型ディスパージョンヘッドからSiH4, PH3, B2H6とO2が分散後に混合し、表面反応させるポストミックス方式により、優れた膜厚均一性と不純物濃度均一性が得られます。
SiCトレーの採用により重金属汚染は発生しにくくなりました。また熱による経年変化が少なく安定したプロセス性能が得られます。
トレー自動交換機能を標準で装備し、作業者の安全性とメンテナンス時間の短縮を実現しました。またヘッドベースを自動的に上昇させる機構を採用したことにより、容易にクリーニングを行うことができます。

サービス部
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