SMART COATER
仕様
一般名: 試料コーター
メーカー名: JEOL
型番: DII-29010SCTR
注意事項:
・30秒ごとに被膜を確認し、必要があれば追加してください。
・2分より多くコートをしないでください。
・真空部品なので、ベルジャー(ガラス管)や試料台を触るときは手袋を着用してください。
・使用後ベルジャーを乾拭きしてください。
・ベルジャーはガラス製のため、落とすと割れます。 取り扱いには気を付けてください。
使用真空度
〜4Pa
試料室サイズ
内径86mm×深さ100mm
ターゲット電極
80Pt - 20Pd、金
ターゲットサイズ
直径49.5mm×厚さ0.1mm
ターゲット電極
直径20mm
試料台サイズ
直径70mm
試料台高さ
ターゲットに対して10mm〜50mmまで連続可変
スパッタ時間
0.5min、1min、2min固定
コーティング膜厚の目安(金)
1minで5nm、2minで10nm