その他
PLANARION®
低コスト・高機能・高品質の研磨を達成する次世代無発泡CMPパッド
一般名称
CMPパッド
販売形態
CMPパッド
概要
無発泡構造のCMPパッド〈PLANARION®（プラナリオン）〉は独自の樹脂設計技術により、最先端半導体製造におけるCMPパッドの"高機能化"と"コストダウン"を両立します。
- 少ディフェクト
- 良段差解消性
- 長寿命
- 研磨安定性
エレクトロニクスマテリアルズ推進本部 販売部
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