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ソリューション
(PCP(ポーラスカーボンプロダクツ))
タンケンシールセーコウは、お客様のお困りごと
だけでなく、お客様が気づいていていない課題を
解決できるかもしれません。
例えば、こんなお困りごとはありませんか。
  • 【高機能フィルム製造装置】シワやキズを解消したい
  • 【フラットパネル製造装置】搬送時のガラスのキズを無くしたい
  • 【半導体製造装置】吸着痕をなくしたい
  • 【検査装置等】高速に案内させたい
丁寧なヒアリングを通じて、お客様の課題や
ご要望に合わせたサポートを提供します。

お客様へのヒアリングを通じて、最適な製品・サービスをご提案します。

安心して製品を導入いただけるよう、購入前の適合確認サービス(製品レンタルや実験サポート)を充実させています。

導入後も定期的にお客様の状況を確認し、新たなご提案を行うなど、お客様の安全連続操業をサポートします。

タンケンシールセーコウが解決できる、お客様の課題
【高機能フィルム製造装置】フィルム・箔などのウェブの搬送に関するお困りごと
Q.シワやキズを解消したい
A.

当社のエアベアリングロール(浮上搬送ロール)をご利用いただくことで、多孔質カーボンからエアを出してウェブを浮上させることで、非接触で搬送し、シワやキズを防止します。

エアベアリングロール(浮上搬送ロール)

Q.粘着面に触れずにターンさせたい
A.

当社のエアベアリングロール(浮上搬送ロール)をご利用いただくことで、多孔質カーボンからエアを出してウェブを浮上させることにより、非接触で搬送させるため、粘着面に触れずにターンさせることができます。

エアベアリングロール(浮上搬送ロール)

Q.メンテナンスの負担を軽減したい
A.

当社のエアベアリングロール(浮上搬送ロール)をご利用いただくことで、不織布でロール表面を拭き取る程度のメンテナンスで済みます。

エアベアリングロール(浮上搬送ロール)

Q.塗工面・製品面の接触をなくしたい
A.

当社のエアベアリングロール(浮上搬送ロール)をご利用いただくことで、ウェブを浮上搬送させて非接触で搬送します。

エアベアリングロール(浮上搬送ロール)

Q.テンションカットしたい
A.

当社のポーラスサクションロール(サクションロール)をご利用いただくことで、ムラのない均一な多孔質により、ウェブを偏りなく吸着し、吸着痕や変形を最小限に押さえます。

ポーラスサクションロール(サクションロール)

Q.部分吸着させたい
A.

当社のポーラスサクションロール(サクションロール)をご利用いただくことで、適度な絞りにより部分吸着も可能です。

ポーラスサクションロール(サクションロール)

Q.条件を変えながら実ワークで性能を確かめたい
A.

ウェブの浮上状態を計測する実験装置を常設しています。

ウェブハンドリング浮上実験

Q.製品を試したいが、ワークの社外持出が困難
A.

性能確認のための製品の貸出を行っております。

製品レンタル

【フラットパネル製造装置】ガラスの浮上搬送・吸着固定に関するお困りごと
Q.搬送時のガラスのキズをなくしたい
A.

当社のエアベアリングバー(浮上搬送レール)をご検討ください。
ガラスを浮上させ、非接触で搬送することでキズを防止します。

エアベアリングバー(浮上搬送レール)

Q.搬送時のガラス基板のたわみを軽減したい
A.

当社のノンコンタクトチャッキング(非接触吸着盤)をご検討ください。
吸引孔がガラス基板を引き寄せることで、流体膜の剛性が高まり、移動時のワークのたわみを抑えます。

ノンコンタクトチャッキング(非接触吸着盤)

Q.ガラス基板を精密に吸着させたい
A.

当社の真空吸着盤をご検討ください。負圧で予圧をかけることで高さ方向の変位や振動を抑え、一定の隙間を保ちながら搬送面を倣わせ、精密平面を形成します。

真空吸着盤

Q.条件を変えながら実ワークで性能を確かめたい
A.

ガラスの浮上状態を計測する実験装置を常設しています。

フラットパネル浮上実験

Q.製品導入を検討しているが、ワークの社外持ち出しは困難
A.

性能確認のための製品の貸出を行っております。

製品レンタル

【半導体製造装置】シリコンウェーハの吸着固定に関するお困りごと
Q.吸着痕をなくしたい
A.

当社のオールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))をご検討ください。
ムラのない均一な多孔質により、ウェブを偏りなく吸着し、吸着痕や変形を最小限に押さえます。

オールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))

Q.部分吸着させたい
A.

当社のオールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))をご検討ください。
適度な絞りにより部分吸着が可能です。

オールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))

Q.静電気によるスパークを防止したい
A.

当社のオールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))をご検討ください。
カーボンは優れた導電体であり、帯電しにくいため、ワークは吸着されることでアースされます。静電気対策として有効で、静電気を嫌うワークの吸着に最適です。

オールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))

Q.高温環境下で使用したい
A.

当社のオールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))をご検討ください。
全ての部品材質をカーボンにすることで、カーボンの優れた熱特性を最大限に引き出しました。同一材料で構成されているため、熱膨張差による精度変化が起こりにくく、寸法安定性に優れます。

オールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))

Q.スピンヘッドで使用したい
A.

当社のオールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))をご検討ください。
成膜ムラ対策には、多孔質体による全面吸着が有効です。吸着面を多孔質体で形成し、高精度な平面に仕上げることで、成膜精度を向上させます。

オールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))

Q.マテハンで使用したい
A.

当社のオールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))をご検討ください。
多孔質カーボンのカサ密度は低く、軽量化することで装置設計の自由度が増します。

オールカーボン吸着盤(真空吸着盤(純炭素製))

Q.非接触で検査したい
A.

当社のノンコンタクトチャッキング(非接触吸着盤)をご検討ください。
多孔質カーボンからエアを供給・吸引することで、ガラスとの隙間を調整し、非接触で検査を行うことができます。

ノンコンタクトチャッキング(非接触吸着盤)

【検査装置】精密案内に関するお困りごと
Q.高速に案内させたい
A.

当社のエアベアリング(静圧気体軸受)をご検討ください。
カーボン製多孔質体を使用しており、気体膜力によって負荷を支持し、非接触で作動します。摩擦や摩耗がないため、高速且つ精密に案内できます。

エアベアリング(静圧気体軸受)

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