MMCが係わってきたこれらの先端技術開発プロジェクトの変遷を振り返ってみると、その時々の産業ニーズ・社会ニーズに応じて、約10年毎にプロジェクト目標が「基礎技術の開発」から「デバイス製造基盤技術の開発」へ、さらには「応用分野としてのセンサネットワークの開発」へとシフトしてきていることが分かります。
- まず、1990年代はマイクロマシン技術研究開発プロジェクト一色でしたが、この時期はマイクロマシン基礎技術の開発が行われました。この研究成果は各企業の中で技術力・製品開発力の強化に活用されました。
- その後2000年代に入ると、マイクロマシン基礎技術を活用するMEMSデバイスが注目を浴びるようになり、MEMSの実用化・ファンドリ-事業展開を助成するMEMSプロジェクトや、MEMSの設計・解析支援ソフトを開発するMEMS-ONEプロジェクトが実施されました。
- 2010年代後半に入ると、既存のIoT技術では実現困難な革新センサ基盤技術の開発として、BaMBIプロジェクト、SNIFプロジェクトを立ち上げ、超微小量の検出や過酷環境下での動作、非接触・非破壊での測定等を可能とする技術開発を行いました。また過酷環境下での動作を保証するため、HS-ULPACプロジェクトとして小型時計用発振器の高安定化の基礎研究を実施しております。さらに、今後発展が期待される屋外IoTのキー技術となる、「環境調和型MEMS(EfriM : Environment friendly MEMS)技術の研究開発に関する戦略策定」事業を実施致しました。
(主要技術開発プロジェクトの遂行状況)
マイクロマシンセンターの活動の歩みの中に、MMCが携わる主要技術開発プロジェクトの遂行状況が示されています。