半導体用タンタル

グローバルアドバンストメタル(GAM) は、半導体プロセスにおけるPVDに使用する薄膜用タンタルとして最適です。 GAMは、要求の厳しい半導体産業、コンデンサ、航空宇宙および医療の各産業に70年以上にわたり貢献しています。

大規模で信頼性の高いタンタル供給

• 西オーストラリア州の大規模な原材料に権利を所有
• 急速に成長するリチウム生産による副産物としてのタンタルに対する独特な権利を所有
• リサイクル経路に広範なネットワークを所有

半導体産業の価値創造

• 限られたサプライチェーンへの競争力のある代替手段の提供
• 安定した鉱石調達によりサプライチェーンの信頼性リスクを排除
• 市場価格の変動に伴うリスクの軽減
• GAMのタンタルは、PVD用途での高度な形状に適合

微細構造の均一性

高度なタンタル技術

• 安定した化学成分を持つ高純度インゴットは、ターゲットプレートの製作に最適な特性を付与
• 最高の粉末から製造された最先端の純度、結晶粒径および結晶配向のターゲットプレート
• 良好な塑性加工性:ミッドプレーンでの縞模様を最小限に抑えた均一な配向
• ターゲット性能の向上 – 微細構造の均一性は、ターゲットの寿命と良好なタンタル膜厚制御にて安定した蒸着を実現
• プロセスの安定性 – 電子後方散乱回折(EBSD/OIM)分析は、プレートからプレートへの配向 および結晶粒径の両方において高度な均一性を示しています。