1.開会の挨拶マイクロマシンセンター青柳専務 2.御講演 (1)「MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待」立命館大学、杉山教授 (2)「MEMSデバイスのマイクロナノ成形加工技術」兵庫県立大学、服部教授 (3)ファンドリーサービス産業委員会プレゼンテーション(加工・接合技術) 1「アルバックのMEMSファンドリーサービス」 (株)アルバック、前平氏 2「オムロンの8インチMEMS開発事例とファンドリーサービス」オムロン(株)、井上氏 3「融合型MEMSの加工技術」オリンパス(株)、唐木氏 4「MEMSデバイス開発の支援」産業技術総合研究所、高橋氏 5「表面活性化法を用いたMEMSウエハ常温接合」パナソニック電工(株)、長浜氏 6「マイクロ流体デバイスの加工技術」 (株)日立製作所、小出氏 (4)兵庫地区MEMS企業の技術紹介 1「MEMS加工技術の現状と動向」住友精密工業(株)、野沢氏 2「シリコンセンシングのファンドリーサービス(受託加工)のご紹介」 (株)シリコンセンシングプロダクツ、田中氏 (5)MEMSデバイス評価技術 1「MEMSデバイスの高精度環境試験技術について」 (株)第一科学、武田氏 2「MEMSデバイスの信頼性に対する良品構造解析的アプローチ」沖エンジニアリング(株)、村原氏 (6)ファンドリーサービス産業委員会プレゼンテーション(設計・解析技術ほか) 1「MEMS用設計・解析支援ソフトMemsONE V3.0の紹介」日本ユニシス・エクセリューションズ(株)、前田氏 2「MEMSの寄生容量抽出-形状シミュレータParadiseWorld-2に即して-」 (株)数理システム、水田氏 3「ファンドリーサービス産業委員会活動紹介」オムロン(株)、佐藤委員長 3.技術相談会 1ファンドリーサービス産業委員会委員企業9社、製品・技術展示 2(株)シリコンセンシングシステムズジャパン、(株)化繊ノズル製作所、カタログ展示 4.懇談会