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半導体

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  • エッチングガス(C5F8)
  • 高選択比 SiN エッチングガス(開発中) ※(注記)
  • 高選択比 SiO2、Low-K エッチングガス(開発中) ※(注記)

各製品のSDS・chemSHERPAをご用命の場合は、以下フォームから検索・ダウンロードをお願いいたします。

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