クリーンルーム内の
清浄度を保てるような
最小風量となるよう
に、ファンの回転数を
調整することにより、
消費電力の削減を図り
ます。
『運用変更』
清浄度が保てる最
小風量になるよう
に 調 整 し ま し ょ
う。
対 策 例
クリーンルーム循環風量の変更
056-O
省エネ対策のポイント
参考資料
クリーンルームの清浄度について
差圧計
差圧制御装置
外気導入
制御ダンパー
循環風量
制御ダンパー
クリーンルーム
インバータファン
クリーン度を維持し、
室内を正圧に保つ
ための小型送風機
自動排気
差圧ダンパー
超高性能エアフィルタ 過剰な循環風量の抑制
外気導入量の制御
・クリーンルームの場合、クリーン度を確保しながら、室内を正圧に保つ必要が
あるため、適正な外気導入量を行うことが必要です。
・一般的に、クリーンルームの清浄度は、単位体積中の基準の大きさ以上の
塵埃(微粒子)の数量で、清浄度クラスとしてクラス分けされています。
この数量が小さいほどゴミがない空間であり、大きいほど一般環境に近い
空間になります。
・清浄度を示す規格については、これまで「米国連邦規格Fed.Std.209E」が
使われていましたが、2001年に廃止され、現在は、国際統一規格であるISO
規格に移行されています。
ISO清浄度クラス分類表
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
米国連邦規格
基準相当値ISOクラス9ISOクラス8ISOクラス7ISOクラス6ISOクラス5ISOクラス4ISOクラス3ISOクラス2
3,520,000 832,000 29,300-- - - - 8,320,000 293,000
クラス100,000
- - -
35,200 8,320 293
クラス10,000
- - - 352,000 83,200 2,930
クラス1,000
1,000,000 237,000 102,000
352 83 -
クラス100
100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
クラス10
10,000 2,370 1,020
4 - -
クラス1
1,000 237 102 35 8 --100 24 10
清浄度
クラス
上限濃度(個/m3)は、以下に示す対象粒径以上の粒子濃度を表している-10 2 - - - -ISOクラス1