超高感度光ファイバ干渉計三次元プロファイリング・システムの試作研究

• • 藤井, 陽一 フジイ, ヨウイチ
• • 荒川, 泰彦 アラカワ, ヤスヒコ
• • 尾崎, 政男 オザキ, マサオ

• • 藤井, 陽一 フジイ, ヨウイチ
• • 荒川, 泰彦 アラカワ, ヤスヒコ
• • 尾崎, 政男 オザキ, マサオ

超高感度光ファイバ干渉計三次元プロファイリング・システムの試作研究

研究代表者藤井陽一

藤井陽一, 1993

タイトル読み

チョウコウカンドヒカリ ファイバ カンショウケイ サンジゲン プロファイリング ・ システム ノ シサク ケンキュウ

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• 東京大学 総合図書館

  A70:14550011053857

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研究分担者 : 荒川泰彦,尾崎政男

研究協力者 : 金永哲,加藤考利

論文執筆者 : 喬学臣,山崎幸男

平成4年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号03555078)

• 超高感度光ファイバ干渉計形表面プロファイル・システム
• 差動型ヘテロダインレーザ顕微鏡
• 光ファイバリング共振器を用いた多点型温度センサ
• A fibre-optic 3-D microscope with high depth sensitivity
• 光ファイバ共焦点干渉顕微鏡による高精度表面プロファイル測定系
• 高精度光ファイバ表面プロファイル測定装置
• 光ファイバ干渉計による高精度表面粗さ測定
• 超高感度光ファイバ干渉計形表面粗さ測定システム
• 分割型検出器を用いたレーザ顕微鏡
• リング共振器を用いた温度センサ