@book{ BN08137616,
 author = "徳山, 巍 ",
 title = "半導体ドライエッチング技術",
 publisher = "産業図書",
 year = "1992",
 series = "集積回路プロセス技術シリーズ",
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 URL = "https://ci.nii.ac.jp/ncid/BN08137616"
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