トンネル電流距離センサを集積化したシリコンマイクロストラクチャによる微小駆動装置

• • 藤田, 博之 フジタ, ヒロユキ

• • 藤田, 博之 フジタ, ヒロユキ

トンネル電流距離センサを集積化したシリコンマイクロストラクチャによる微小駆動装置

研究代表者藤田博之

藤田博之, 1991

タイトル読み

トンネル デンリュウ キョリ センサ オ シュウセキカ シタ シリコン マイクロ ストラクチャ ニ ヨル ビショウ クドウ ソウチ

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平成2年度文部省科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書,研究課題番号(63850053)