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電子顕微鏡技術

外村彰編 ; 黒田勝広 [ほか] 共著

(Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集, 電子・情報・通信編 E02)

丸善, 1989.8

タイトル読み

デンシ ケンビキョウ ギジュツ

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注記

執筆: 黒田勝広ほか

各章末: 文献

内容説明・目次

内容説明

近年の先端技術を支える電子デバイス、超伝導材や高密度記録材等の新素材、遺伝子レベルでのバイオ関連等のハイテク指向が高まるにつれて、電子顕微鏡の利用分野は拡大の一途を辿っている。本書は第一線の研究者が電子顕微鏡の開発史から最新の研究情報までを平易に解説したものであり、豊富な電子顕微顕鏡写真を用い原子の世界をみせてくれる。

目次

  • 1章 電子顕微鏡の生い立ちとその進歩の歴史
  • 2章 表面構造の観察
  • 3章 半導体デバイスの断面観察
  • 4章 電子線ホログラフィー
  • 5章 超高分解能走査電子顕微鏡
  • 6章 スピン偏極走査電子顕微鏡
  • 7章 電子ビームテスタ

「BOOKデータベース」 より

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