テキスト ( 視覚 ) : 機器不用 VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて / 徳山巍, 橋本哲一編著. -- 東京 : 日経BP社 , 1989.1. -- vi, 325p ; 27cm. -- 各章末: 参考文献 ; 索引: p323-326. -- ISBN 4822270556 ; (BN03227289) ; https://ci.nii.ac.jp/ncid/BN03227289 別タイトル: VLSI製造技術. -- 著者標目: 徳山, 巍 ; 橋本, 哲一 . -- 分類: NDC8 : 549.7 ; NDLC : ND386. -- 件名: NDLSH : 集積回路