TY - BOOK
AU - 徳山, 巍 
AU - 橋本, 哲一 
TI - VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて
PB - 日経BP社
PY - 1989
EP - vi, 325p
UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BN03227289
SN - 4822270556
ER -
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