@book{ BN03227289,
 author = "徳山, 巍 and 橋本, 哲一 ",
 title = "VLSI製造技術 : サブミクロン時代に向かう最先端MOS技術のすべて",
 publisher = "日経BP社",
 year = "1989",
 URL = "https://ci.nii.ac.jp/ncid/BN03227289"
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