TY - BOOK
AU - 日本学術振興会薄膜第131委員会
AU - 神山, 雅英 
TI - 薄膜ハンドブック
PB - オーム社
PY - 1983
EP - x, 950p
UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BN0009109X
SN - 4274020762
ER -
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