TY - BOOK
AU - 日本学術振興会R025先進薄膜界面機能創成委員会
AU - 田畑, 仁 (表面化学)
AU - 吉田, 貞史
AU - 近藤, 高志
TI - 薄膜工学
ET - 第4版
PB - 丸善出版
PY - 2024
EP - viii, 310p
UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BD08002672
SN - 9784621309780
ER -
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