著者名	書名	版表示	出版者名	出版年	シリーズ名	番号	ISBN	ISSN	URL
Urey, Hakan and SPIE Europe and Alsace international and Association française des industries de l'optique et de la photonique and Society of Photo-optical Instrumentation Engineers	MEMS, MOEMS, and micromachining III : 9-10 April 2008, Strasbourg, France		SPIE	2008	Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering	v. 6993	9780819471918		https://ci.nii.ac.jp/ncid/BC16159628
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