TY - BOOK AU - Optical Characterization Techniques for High-Performance Microelectronic Device Manufacturing (Symposium) AU - DeBusk, Damon AU - Chen, Ray T. AU - Society of Photo-optical Instrumentation Engineers AU - Semiconductor Equipment and Materials International TI - Optical characterization techniques for high-performance microelectronic device manufacturing III : 16-17 October 1996, Austin, Texas PB - SPIE PY - 1996 T2 - Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering VL - v. 2877 EP - ix, 218 p. UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BC06860076 SN - 0819422754 ER -
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