TY - BOOK AU - 権田, 俊一 AU - 酒井, 忠司 AU - 田畑, 仁 AU - 八瀬, 清志 AU - 宮崎, 照宣 TI - 薄膜作製応用ハンドブック ET - 2020版 PB - エヌ・ティー・エス PY - 2020 EP - 38, 6, 16, 1468, 21, 15p UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB29670662 SN - 9784860436315 ER -
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