テキスト ( 視覚 ) : 機器不用
薄膜作製応用ハンドブック / 酒井忠司 [ほか] 編集委員, 宮﨑照宣編集協力委員. -- 2020版. -- 東京 : エヌ・ティー・エス , 2020.2. -- 38, 6, 16, 1468, 21, 15p : 挿図 ; 27cm. -- 監修: 權田俊一 ; 第2版(2003年刊)につづく第3版にあたる ; 巻頭: 口絵 ; 各章末: 参考・引用文献 ; 巻末: 索引・付録(評価方法と評価対象一覧). -- ISBN 9784860436315 ; (BB29670662) ; https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB29670662
別タイトル: Handbook of thin film fabrication and application ; 2020版薄膜作製応用ハンドブック. -- 著者標目: 権田, 俊一 ; 酒井, 忠司 ; 田畑, 仁 ; 八瀬, 清志 ; 宮崎, 照宣 . -- 分類: NDC8 : 549 ; NDC8 : 549.036 ; NDLC : ND2 ; NDLC : ND371. -- 件名: NDLSH : 薄膜
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