TY - BOOK
AU - 権田, 俊一 
AU - 酒井, 忠司
AU - 田畑, 仁
AU - 八瀬, 清志
AU - 宮崎, 照宣 
TI - 薄膜作製応用ハンドブック
ET - 2020版
PB - エヌ・ティー・エス
PY - 2020
EP - 38, 6, 16, 1468, 21, 15p
UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB29670662
SN - 9784860436315
ER -
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