%A 権田, 俊一 
%A 酒井, 忠司
%A 田畑, 仁
%A 八瀬, 清志
%A 宮崎, 照宣 
%T 薄膜作製応用ハンドブック
%I エヌ・ティー・エス
%D 2020
%U https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB29670662
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