@book{ BB29670662,
 author = "権田, 俊一 and 酒井, 忠司 and 田畑, 仁 and 八瀬, 清志 and 宮崎, 照宣 ",
 title = "薄膜作製応用ハンドブック",
 publisher = "エヌ・ティー・エス",
 year = "2020",
 edition = "2020版",
 URL = "https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB29670662"
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