TY - BOOK
AU - Matsumura, Hideki
AU - 梅本, 宏信 
AU - Gleason, Karen K.
AU - Schropp, Ruud E. I.
TI - Catalytic chemical vapor deposition : technology and applications of cat-CVD
PB - Wiley-VCH
PY - 2019
EP - xvi, 421 p.
UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB28569346
SN - 9783527345236
ER -
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