光吸収を利用したリード・ボンディング用複層薄膜の界面反応の観察と制御

• • 馬越, 佑吉 ウマコシ, ユウキチ

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光吸収を利用したリード・ボンディング用複層薄膜の界面反応の観察と制御

研究代表者 馬越佑吉

(科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, ; 平成4、5年度)

大阪大学工学部, 1994.4

タイトル読み

ヒカリ キュウシュウ ヲ リヨウ シタ リード ボンディングヨウ フクソウ ハクマク ノ カイメン ハンノウ ノ カンサツ ト セイギョ

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[課題番号]: 04452281

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  科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書

  [文部省]