TY - BOOK
AU - 日本学術振興会薄膜第131委員会
AU - 吉田, 貞史
AU - 近藤, 高志
AU - 金原, 粲 
TI - 薄膜工学
ET - 第3版
PB - 丸善出版
PY - 2016
EP - x, 302p
UR - https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB22618766
SN - 9784621300985
ER -
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