%A 日本学術振興会薄膜第131委員会
%A 吉田, 貞史
%A 近藤, 高志
%A 金原, 粲 
%T 薄膜工学
%I 丸善出版
%D 2016
%U https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB22618766
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