@book{ BB22618766,
 author = "日本学術振興会薄膜第131委員会 and 吉田, 貞史 and 近藤, 高志 and 金原, 粲 ",
 title = "薄膜工学",
 publisher = "丸善出版",
 year = "2016",
 edition = "第3版",
 URL = "https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB22618766"
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